Báo cáo tài liệu vi phạm
Giới thiệu
Kinh doanh - Marketing
Kinh tế quản lý
Biểu mẫu - Văn bản
Tài chính - Ngân hàng
Công nghệ thông tin
Tiếng anh ngoại ngữ
Kĩ thuật công nghệ
Khoa học tự nhiên
Khoa học xã hội
Văn hóa nghệ thuật
Sức khỏe - Y tế
Văn bản luật
Nông Lâm Ngư
Kỹ năng mềm
Luận văn - Báo cáo
Giải trí - Thư giãn
Tài liệu phổ thông
Văn mẫu
THỊ TRƯỜNG NGÀNH HÀNG
NÔNG NGHIỆP, THỰC PHẨM
Gạo
Rau hoa quả
Nông sản khác
Sữa và sản phẩm
Thịt và sản phẩm
Dầu thực vật
Thủy sản
Thức ăn chăn nuôi, vật tư nông nghiệp
CÔNG NGHIỆP
Dệt may
Dược phẩm, Thiết bị y tế
Máy móc, thiết bị, phụ tùng
Nhựa - Hóa chất
Phân bón
Sản phẩm gỗ, Hàng thủ công mỹ nghệ
Sắt, thép
Ô tô và linh kiện
Xăng dầu
DỊCH VỤ
Logistics
Tài chính-Ngân hàng
NGHIÊN CỨU THỊ TRƯỜNG
Hoa Kỳ
Nhật Bản
Trung Quốc
Hàn Quốc
Châu Âu
ASEAN
BẢN TIN
Bản tin Thị trường hàng ngày
Bản tin Thị trường và dự báo tháng
Bản tin Thị trường giá cả vật tư
Tìm
Danh mục
Kinh doanh - Marketing
Kinh tế quản lý
Biểu mẫu - Văn bản
Tài chính - Ngân hàng
Công nghệ thông tin
Tiếng anh ngoại ngữ
Kĩ thuật công nghệ
Khoa học tự nhiên
Khoa học xã hội
Văn hóa nghệ thuật
Y tế sức khỏe
Văn bản luật
Nông lâm ngư
Kĩ năng mềm
Luận văn - Báo cáo
Giải trí - Thư giãn
Tài liệu phổ thông
Văn mẫu
NGÀNH HÀNG
NÔNG NGHIỆP, THỰC PHẨM
Gạo
Rau hoa quả
Nông sản khác
Sữa và sản phẩm
Thịt và sản phẩm
Dầu thực vật
Thủy sản
Thức ăn chăn nuôi, vật tư nông nghiệp
CÔNG NGHIỆP
Dệt may
Dược phẩm, Thiết bị y tế
Máy móc, thiết bị, phụ tùng
Nhựa - Hóa chất
Phân bón
Sản phẩm gỗ, Hàng thủ công mỹ nghệ
Sắt, thép
Ô tô và linh kiện
Xăng dầu
DỊCH VỤ
Logistics
Tài chính-Ngân hàng
NGHIÊN CỨU THỊ TRƯỜNG
Hoa Kỳ
Nhật Bản
Trung Quốc
Hàn Quốc
Châu Âu
ASEAN
BẢN TIN
Bản tin Thị trường hàng ngày
Bản tin Thị trường và dự báo tháng
Bản tin Thị trường giá cả vật tư
Thông tin
Tài liệu Xanh là gì
Điều khoản sử dụng
Chính sách bảo mật
0
Trang chủ
Kỹ Thuật - Công Nghệ
Cơ khí - Chế tạo máy
Microengineering MEMs and Interfacing - Danny Banks Part 3
Đang chuẩn bị liên kết để tải về tài liệu:
Microengineering MEMs and Interfacing - Danny Banks Part 3
Tấn Thành
61
17
pdf
Không đóng trình duyệt đến khi xuất hiện nút TẢI XUỐNG
Tải xuống
Tham khảo tài liệu 'microengineering mems and interfacing - danny banks part 3', kỹ thuật - công nghệ, cơ khí - chế tạo máy phục vụ nhu cầu học tập, nghiên cứu và làm việc hiệu quả | Photolithography 19 Original mask pattern Developed lim I mill 11 IIIIIIIIIIIIIIIII a photoresist pattern Substrate b FIGURE 1.6 a Positive resists tend to develop with slightly wider than desired openings b negative resists tend to develop with slightly smaller openings than mask features. 1.2.1.4 Optical Oddities Optical systems cannot be made completely free of aberrations or distortions and further problems may be introduced by the nature of mask or substrate. A few of these are discussed in the following paragraphs and some are covered in greater detail in Part III. 1.2.1.4.1 The Difference between Negative and Positive Resists Light will be scattered when it enters the resist layer. As illustrated in Figure 1.6 when the resist is overexposed this leads to gaps in the developed resist that are larger than the mask features for positive resists and smaller than the mask features for negative resists. Because many etching procedures undercut the resist particularly many wet etches this has resulted in a preference to the use of negative resists in order to more closely reproduce the features in the mask. 1.2.1.4.2 Optical Aberrations and Distortions The results of any photolithographic process would be limited by the quality of the optical system. Typically these will be more severe further from the optical axis. Astigmatism arising from asymmetry in the optics for instance will typically result in slightly poorer resolution in one horizontal direction than in others. It may also have knock-on consequences in terms of optical proximity effects etc. mentioned later. Chromatic aberrations are particularly problematic with lens-based systems as opposed to reflective focusing systems. Although lens-based optical systems normally achieve higher numerical apertures than reflective systems the refractive index of the material employed is dependent on the wavelength of the light being transmitted. Some photoresists are sensitive to a specific wavelength of light whereas
TÀI LIỆU LIÊN QUAN
Microengineering MEMs and Interfacing - Danny Banks Part 1
Microengineering MEMs and Interfacing - Danny Banks Part 2
Microengineering MEMs and Interfacing - Danny Banks Part 3
Microengineering MEMs and Interfacing - Danny Banks Part 4
Microengineering MEMs and Interfacing - Danny Banks Part 5
Microengineering MEMs and Interfacing - Danny Banks Part 6
Microengineering MEMs and Interfacing - Danny Banks Part 7
Microengineering MEMs and Interfacing - Danny Banks Part 8
Microengineering MEMs and Interfacing - Danny Banks Part 9
Microengineering MEMs and Interfacing - Danny Banks Part 10
Đã phát hiện trình chặn quảng cáo AdBlock
Trang web này phụ thuộc vào doanh thu từ số lần hiển thị quảng cáo để tồn tại. Vui lòng tắt trình chặn quảng cáo của bạn hoặc tạm dừng tính năng chặn quảng cáo cho trang web này.