Giáo trình Vật lý và kỹ thuật màng mỏng do Nguyễn Năng Định biên soạn nhằm giúp các bạn củng cố và nắm vững các kiến thức cơ bản về kỹ thuật chân không, công nghệ chế tạo màng mỏng và các phương pháp phân tích đặc trưng của màng mỏng. Mời các bạn tham khảo giáo trình để bổ sung thêm kiến thức về lĩnh vực này. | Vật lý và kỹ thuật màng mỏng 1 2 Vật lý và kỹ thuật màng mỏng Mục lục Lời nói đầu v Chương 1. Nhập môn vật lý và kỹ thuật màng mỏng 1 . Giới thiệu chung 1 . Phương pháp lắng đọng pha hơi hoá học 2 CVD . Phương pháp hoá hoá lý kết hợp 3 . Phương pháp bay hơi vật lý PVD 3 . Các khái niệm và đại lượng cơ bản 3 . Kỹ thuật chân không và công nghệ màng mỏng 15 . Phún xạ 19 Chương 2. Động học chất khí 23 . Ý nghĩa vật lý của áp suất và nhiệt độ chất khí 23 . Các hàm phân bố của phân tử 25 . Tần số va chạm của phân tử với bề mặt 29 . Quãng đường tự do của phân tử khí 32 . Một số tính chất 35 . Nhiệt dung của hệ khí hai nguyên tử 35 . Khuếch tán 37 . Độ nhớt 38 . Độ dẫn nhiệt 42 . Dòng khí 43 . Chế độ dòng khí 43 . Dòng khí trong chế độ nhớt 44 . Dòng khí trong chế độ Kudsen- Dòng phân tử 45 . Độ dẫn của cấu trúc dẫn khí 47 Chương 3. Hấp phụ và ngưng tụ 49 . Hấp phụ khí 51 . Vì sao khí hấp phụ 51 . Thời gian lưu trú 53 Vật lý và kỹ thuật màng mỏng 3 . Đẳng nhiệt hấp phụ Langmuir 54 . Epitaxy lớp nguyên tử 57 . Áp suất hơi 62 . Áp suất hơi hoạt tính nhiệt 62 . Áp suất hơi của các nguyên tố 63 . Áp suất hơi của hợp kim và hợp chất 68 . Ngưng tụ từ pha hơi 71 . Ngưng tụ từ pha hơi đơn nhất 71 . Ngưng tụ các hợp chất bảo toàn hợp thức 73 . Hoá hơi nhanh các hợp chất dễ phân ly 74 . Đồng bay hơi - phương pháp Ba nhiệt độ 75 . Bốc bay phản ứng 77 Chương 4. Vật lý và kỹ thuật chân không cao 79 . Một số loại bơm chân không 79 . Bơm cơ học 80 . Bơm khuếch tán 86 . Nguyên lý chân không 89 . Tốc độ bơm 89 . Dòng hút khí 93 . Độ dẫn của hệ chân không 95 . Đặc tính chung của hệ chân không 96 . Các khái niệm động học cơ bản 96 . Các hiện tượng khử hấp phụ nhả khí và thẩm thấu 101 . Đo chân không và đơn vị áp suất 102 Chương 5. Lý thuyết bốc bay chân không 107 . Tốc độ bốc bay 107 .
