Measurement Process Characterization_1

Cộng đồng bán dẫn trên toàn thế giới phải đối mặt với những thách thức ngày càng khó khăn khi nó di chuyển vào việc sản xuất chip với kích thước tính năng tiếp cận 100 nm và hơn thế nữa. Độ lớn của những thách thức này đòi hỏi sự quan tâm đặc biệt từ cộng đồng đo lường và đo lường phân tích. Mô hình mới phải được tìm thấy. Nghiên cứu và phát triển đầy đủ cho các khái niệm về đo lường mới cần thiết. Các chủ đề bao gồm: lịch sử mạch tích hợp, thách. | 2. Measurement Process Characterization ENGINEERING STATISTICS HANDBOOK hW tools raids lỉEÂtCH BACK Nixf 2. Measurement Process Characterization 1. Characterization 1. Issues 2. Check standards 2. Control 1. Issues 2. Bias and long-term variability 3. Short-term variability 3. Calibration 1. Issues 2. Artifacts 3. Designs 4. Catalog of designs 5. Artifact control 6. Instruments 7. Instrument control 4. Gauge R R studies 1. Issues 2. Design 3. Data collection 4. Variability 5. Bias 6. Uncertainty 5. Uncertainty analysis 1. Issues 2. Approach 3. Type A evaluations 4. Type B evaluations 5. Propagation of error 6. Error budget 7. Expanded uncertainties 8. Uncorrected bias 6. Case Studies 1. Gauge study 2. Check standard 3. Type A uncertainty 4. Type B uncertainty Detailed table of contents References for Chapter 2 http div898 handbook mpc 1 of 2 5 1 2006 10 11 02 AM 2. Measurement Process Characterization ENGINEERING STATISTICS HANDBOOK hW tools raids lỉEÂtCH BACK NiKf 2. Measurement Process Characterization -Detailed Table of Contents 1. Characterization . 1. What are the issues for characterization . 1. Purpose . 2. Reference base . 3. Bias and Accuracy . 4. Variability . 2. What is a check standard . 1. Assumptions . 2. Data collection . 3. Analysis . 2. Statistical control of a measurement process . 1. What are the issues in controlling the measurement process . 2. How are bias and variability controlled . 1. Shewhart control chart . 1. EWMA control chart . 2. Data collection . 3. Monitoring bias and long-term variability . 4. Remedial actions . 3. How is short-term variability controlled . 1. Control chart for standard deviations . 2. Data collection . 3. Monitoring short-term precision . 4. Remedial actions . http div898 handbook mpc 1 of 7 5 1 2006 10 10 39 AM 2. .