Bức xạ ion hoá năng lượng cao được sử dụng để tạo ra các biến đổi ở mức nguyên tử và phân tử là các loại bức xạ alpha, bêta, gamma, tia X, nơtron, electron và ion. Trong số này bức xạ gamma và electron thường được sử dụng nhiều hơn cả so với các loại bức xạ khác. Tuy không được xếp vào loại bức xạ ion hoá năng lượng cao, song gần đây các tia cực tím (UV) cũng được sử dụng trong các quy trình xử lý màng mỏng và xử lý bề mặt vật liệu