Được phát minh năm 1981 và hai nhà phát minh ra thiết bị này là Gerd Binnig và Heinrich Rohrer (đã giành giải Nobel Vật lý năm 1986 Là kính hiển vi quét chui ngầm ,được sử dụng để quan sát hình thái học bề mặt của vật rắn (kim loại, chất bán dẫn) ở cấp độ nguyên tử STM sử dụng một mũi dò nhọn mà đầu của mũi dò có kích thước là một nguyên tử, quét rất gần bề mặt mẫu. Khi đầu dò được quét trên bề mặt mẫu, sẽ xuất hiện các điện tử di chuyển từ. | HIỂN VI ĐIỆN TỬ QUÉT CHUI HẦM (SCANNING TUNNELING MICROSCOPE) STM LÀ GÌ??? Được phát minh năm 1981 và hai nhà phát minh ra thiết bị này là Gerd Binnig và Heinrich Rohrer (đã giành giải Nobel Vật lý năm 1986 Là kính hiển vi quét chui ngầm ,được sử dụng để quan sát hình thái học bề mặt của vật rắn (kim loại, chất bán dẫn) ở cấp độ nguyên tử NGUYÊN LÝ HOẠT ĐỘNG CỦA STM STM sử dụng một mũi dò nhọn mà đầu của mũi dò có kích thước là một nguyên tử, quét rất gần bề mặt mẫu. Khi đầu dò được quét trên bề mặt mẫu, sẽ xuất hiện các điện tử di chuyển từ bề mặt mẫu sang mũi dò do hiệu ứng chui ngầm lượng tử và việc ghi lại dòng chui ngầm (do một hiệu điện thế đặt giữa mũi dò và mẫu) này sẽ cho các thông tin về cấu trúc bề mặt với độ phân giải ở cấp độ nguyên tử CẤU TẠO CHÍNH MÁY STM ĐẦU DÒ BỘ ÁP ĐIỆN: + BỘ ĐIỀU KHIỂN QUÉT XY + BỘ ĐIỀU KHIỂN HỒI TIẾP BỘ PHẬN CHỐNG RUNG MÁY TÍNH ĐẦU DÒ Cách chế tạo: _ Dây vonfram được chế tạo bằng phương pháp khắc điện hóa hoặc được mài nhọn với bột Fe. _ Được cắt | HIỂN VI ĐIỆN TỬ QUÉT CHUI HẦM (SCANNING TUNNELING MICROSCOPE) STM LÀ GÌ??? Được phát minh năm 1981 và hai nhà phát minh ra thiết bị này là Gerd Binnig và Heinrich Rohrer (đã giành giải Nobel Vật lý năm 1986 Là kính hiển vi quét chui ngầm ,được sử dụng để quan sát hình thái học bề mặt của vật rắn (kim loại, chất bán dẫn) ở cấp độ nguyên tử NGUYÊN LÝ HOẠT ĐỘNG CỦA STM STM sử dụng một mũi dò nhọn mà đầu của mũi dò có kích thước là một nguyên tử, quét rất gần bề mặt mẫu. Khi đầu dò được quét trên bề mặt mẫu, sẽ xuất hiện các điện tử di chuyển từ bề mặt mẫu sang mũi dò do hiệu ứng chui ngầm lượng tử và việc ghi lại dòng chui ngầm (do một hiệu điện thế đặt giữa mũi dò và mẫu) này sẽ cho các thông tin về cấu trúc bề mặt với độ phân giải ở cấp độ nguyên tử CẤU TẠO CHÍNH MÁY STM ĐẦU DÒ BỘ ÁP ĐIỆN: + BỘ ĐIỀU KHIỂN QUÉT XY + BỘ ĐIỀU KHIỂN HỒI TIẾP BỘ PHẬN CHỐNG RUNG MÁY TÍNH ĐẦU DÒ Cách chế tạo: _ Dây vonfram được chế tạo bằng phương pháp khắc điện hóa hoặc được mài nhọn với bột Fe. _ Được cắt từ dây Pt-Ir. Đường kính vài trăm nm (kích thước cỡ nguyên tử) CÁCH QUÉT CỦA ĐẦU DÒ HIỆU ỨNG ĐƯỜNG NGẦM Theo cơ học cổ điển, khi E dòng chui ngầm dịch chuyển từ đầu dò sang mẫu _Nếu mẫu gắn vào cực -, Ef của mẫu > Ef của đầu dò -> dòng chui hầm dịch chuyển từ mẫu sang đầu dò. DÒNG CHUI NGẦM _d: khoảng cách giữa đầu dò và mẫu _Ф: chiều cao hố thế _m: khối lượng e. _I giảm theo hệ số 10 khi khoảng cách tăng 1 Ao _I co giá trị từ 10pA – 1nA ( Ф cỡ vài eV,d cỡ 0,5 nm) Dòng chui ngầm đo mật độ e ở bề mặt ( e gần mức Fermi). Do đó đo dòng chui ngầm có thể thay thế cho hình ảnh vật lý của bề mặt mẫu. BỘ PHẬN ÁP ĐIỆN tripod tube _Là trung tâm vận hành của mũi dò di chuyển tinh tế hơn _có 2 loại áp điện: - + .
