SEM là loại kính hiển vi điện tử có thể tạo ra ảnh lớn với độ phân giải cao của bề mặt mẫu vật bằng cách sử dụng 1 chùm điện tử hẹp quét bề mặt mẫu. SEM đầu tiên được phát minh bởi nhà khoa học Zworykin vào năm 1942 | BÀI TIỂU LUẬN: CẤU TẠO CỦA KÍNH HIỂN VI ĐIỆN TỬ QUÉT(SEM) Giáo viên hướng dẫn: Nguyễn Ngọc Linh Sinh viên thực hiện: Phạm Thị Hiền Lương Lăng Văn Thuận NỘI DUNG Phần 1: Tương tác giữa điện tử tới và vật chất Phần 2: Cấu tạo của kính hiển vi điện tử quét(SEM) Giới thiệu về SEM Cấu tạo của SEM : TƯƠNG TÁC GIỮA ĐIỆN TỬ TỚI VÀ VẬT CHẤT . KÍNH HIỂN VI ĐIỆN TỬ QUÉT(SEM) . Giới thiệu: SEM là loại kính hiển vi điện tử có thể tạo ra ảnh lớn với độ phân giải cao của bề mặt mẫu vật bằng cách sử dụng 1 chùm điện tử hẹp quét bề mặt mẫu. SEM đầu tiên được phát minh bởi nhà khoa học Zworykin vào năm 1942 . CẤU TẠO CỦA KÍNH HIỂN VI ĐIỆN TỬ QUÉT(SEM) Các bộ phận chính: Súng phóng điện tử( Nguồn phát điện tử) Hệ thống các thấu kính từ Bộ phận thu nhận tín hiệu detecter Buồng chân không chứa mẫu Thiết bị hiển thị Các bộ phận khác: nguồn cấp điện, hệ chân không, hệ thống làm lạnh,bơm chống rung, hệ thống chống nhiễm từ trường và điện trường . CẤU TẠO CỦA KÍNH HiỂN VI ĐIỆN TỬ . | BÀI TIỂU LUẬN: CẤU TẠO CỦA KÍNH HIỂN VI ĐIỆN TỬ QUÉT(SEM) Giáo viên hướng dẫn: Nguyễn Ngọc Linh Sinh viên thực hiện: Phạm Thị Hiền Lương Lăng Văn Thuận NỘI DUNG Phần 1: Tương tác giữa điện tử tới và vật chất Phần 2: Cấu tạo của kính hiển vi điện tử quét(SEM) Giới thiệu về SEM Cấu tạo của SEM : TƯƠNG TÁC GIỮA ĐIỆN TỬ TỚI VÀ VẬT CHẤT . KÍNH HIỂN VI ĐIỆN TỬ QUÉT(SEM) . Giới thiệu: SEM là loại kính hiển vi điện tử có thể tạo ra ảnh lớn với độ phân giải cao của bề mặt mẫu vật bằng cách sử dụng 1 chùm điện tử hẹp quét bề mặt mẫu. SEM đầu tiên được phát minh bởi nhà khoa học Zworykin vào năm 1942 . CẤU TẠO CỦA KÍNH HIỂN VI ĐIỆN TỬ QUÉT(SEM) Các bộ phận chính: Súng phóng điện tử( Nguồn phát điện tử) Hệ thống các thấu kính từ Bộ phận thu nhận tín hiệu detecter Buồng chân không chứa mẫu Thiết bị hiển thị Các bộ phận khác: nguồn cấp điện, hệ chân không, hệ thống làm lạnh,bơm chống rung, hệ thống chống nhiễm từ trường và điện trường . CẤU TẠO CỦA KÍNH HiỂN VI ĐIỆN TỬ QUÉT(SEM) . CẤU TẠO CỦA KÍNH HIỂN VI ĐIỆN TỬ QUÉT(SEM) SÚNG PHÓNG ĐIỆN TỬ - Là nguồn phát ra các chùm điện tử trong SEM. - Hoạt động trong khoảng 0 ÷ 30kv, có khi là 60kv tùy thuộc vào thiết bị. - Việc tạo các chùm điện tử trong SEM cũng giống các thiết bị điện tử quang học khác. - Điện tử phát ra từ súng phóng điện tử có 2 kiểu (phát xạ nhiệt điện tử và phát xạ trường ) A. SÚNG PHÁT XẠ ĐIỆN TỬ Nguyên lý : khi nung nóng một vật liệu dẫn điện đến điểm mà các điện tử ở lớp quỹ đạo ngoài cùng có đủ năng lượng vượt qua được rào thế năng và thoát ra ngoài, chùm điện tử sẽ được sinh ra. - Vật liệu dùng làm nguồn nhiệt là cuộn dây tungsen và lanthanum hexaboride (LaB6 ) chúng hoạt động trong môi trường chân không cao ̴10-5 và ̴10-7 torr. * Các bộ phận chính * Gồm: anot, catot và ống Wehnelt - Cuộn catot: thường được sử dụng là cuộn dây tungsten, đường kính cuộn khoảng 1mm và được uốn thành hình chữ V. Để đảm bảo độ ổn định cho nguồn phóng điện tử thì nhiệt độ cuộn dây phải đạt khoảng 30000 C. + .
