Phương pháp phổ phát xạ nguyên tử (AES) được Bunsen và Kirchoff phát minh vào giữa thế kỷ 19. Từ khi được phát minh, phương pháp AES đã đóng góp quan trọng vào sự phát minh các nguyên tố hóa học mới vào cuối thế kỷ 19, đầu thế kỷ 20. Phương pháp được ứng dụng vào các mục đích phân tích định tính, bán định lượng và định lượng hầu hết các kim loại và nhiều nguyên tố phi kim loại như P, Si, As và B với độ nhạy thường tới cấp hàm lượng 0,001% hoặc hàm lượng.