Sự phát xạ siêu âm dựa trên hiện tượng áp điện (do Curie .P tìm ra năm 1900) của đá thạch anh, của 1 số gốm và muối như Bari titanat, bari ziaconat. Nguồn phát xạ siêu âm là 1 tấm thạch anh rất mỏng, cắt thẳng góc với trục điện của tinh thể, kẹp giữa 2 điện cực nối với 1 nguồn điện xoay chiều cao tần. Do hiện tượng áp điện, những thay đổi của điện từ trường xoay chiều làm tấm thạch anh co dãn và rung phát ra siêu âm. Hiện tượng áp điện xảy ra.