Trong bài này chúng tôi xin được giới thiệu vi bơm với kích thước chỉ bằng con tem bưu điện, tiêu tốn ít năng lượng, tuổi thọ trên giờ, có khả năng ứng dụng cho cả hệ cảm biến khí ga và cảm biến hóa chất lỏng, lắp đặt được trong cả mạng lưới và thiết bị cầm tay. Nhu cầu nâng cao tính an toàn và hiệu quả của các quá trình công nghiệp là động lực phát triển các hệ thống cảm biến ứng dụng trong công nghiệp và trong dân dụng. Để tạo ra các giá.