Bài giảng Quang khắc nêu lên vai trò, vị trí của công đoạn quang khắc trong công nghiệp sản xuất vi mạch điện tử, các giai đoạn của quang khắc, cách tiến hành, các lỗi thường gặp trong quá trình quang khắc; giới thiệu về quang khắc bằng tia X và quang khắc ướt (nhúng trong chất lỏng chiết suất n1).