Phương pháp làm sạch dùng sóng siêu âm dựa trên hiện tượng xâm thực sóng siêu âm: trong chất lỏng thông thường tồn tại một lượng lớn các bọt khí, khi chiếu một chùm tia siêu âm có tần số và biên độ thích hợp, dưới tác dụng của dao động cơ học siêu âm và do có sự chênh lệch về khối lượng riêng, các hạt khí sẽ chuyển động hỗn loạn.