Trong bài báo này, cấu trúc cơ và các đặc trưng cơ bản của cảm biến gia tốc kiểu áp điện trở ba bậc tự do sẽ được trình bày. Ở đây, hoạt động của cảm biến sẽ được mô phỏng bằng phương pháp phần tử hữu hạn (finite element method - FEM) thông qua phần mềm tính toán ứng dụng của phương pháp này là ANSYS.