Tiêu chuẩn Quốc gia TCVN 8664-6:2011 - ISO 14644-6:2007 trình bày nội dung về phòng sạch và môi trường kiểm soát liên quan - Phần 6: Từ vựng. Tiêu chuẩn này thiết lập từ vựng của các thuật ngữ và định nghĩa liên quan đến phòng sạch và môi trường được kiểm soát liên quan. Tiêu chuẩn này là một bản trích yếu các thuật ngữ và định nghĩa đã nêu trong các phần khác của bộ TCVN 14698-1 và ISO 14698-2.