Luận văn nghiên cứu công nghệ chế tạo vật liệu CNTs định hướng (vuông góc, nằm ngang) trên đế Si/SiO2 bằng phương pháp CVD nhiệt; nghiên cứu ảnh hưởng của các điều kiện công nghệ (nhiệt độ, nồng độ) đến chất lượng và sự định hướng của CNTs thu được để tìm ra điều kiện thích hợp cho việc chế tạo CNTs định hướng với chất lượng tốt nhất nhằm mục đích phục vụ cho các ứng dụng.