Bài giảng Kỹ thuật phân tích vật liệu rắn: Ellipsometry gồm 3 phần với những nội dung về các trạng thái phân cực của ánh sáng và cách biểu diễn chúng; sự thay đổi trạng thái phân cực của ánh sáng khi truyền qua các yếu tố quang học và khi phản xạ và truyền qua mẫu và màng mỏng; Ellipsometry – các loại Ellipsometer.