Trong phún xạ, năng lượng được chuyển từ ion đến nguyên tử target phá vỡ liên kết giữa các nguyên tử, bứt những nguyên tử ra khỏi target. Để hiểu rõ hơn về điều này mời các bạn tham khảo bài thuyết trình Các phương pháp thực nghiệm: Phương pháp phún xạ sau đây.