Luận án giới thiệu về hướng nghiên cứu, thiết kế các vi chấp hành và các loại cảm biến sử dụng cho vi gắp; trình bày về nâng cấp mô hình mô phỏng, phân tích tổng quát phân bố nhiệt độ trên cơ cấu chấp hành, chuyển vị và lực kẹp bằng phương pháp cơ học cổ điển và mô hình truyền nhiệt, trình bày cơ chế điều khiển, hàm điều khiển PID để tối ưu hoạt động vi gắp. . | ĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI TRƯỜNG ĐẠI HỌC CÔNG NGHỆ Phan Hữu Phú MÔ PHỎNG VÀ TỐI ƯU HÓA VI GẮP CÓ CẢM BIẾN DÙNG ĐỂ THAO TÁC VỚI CÁC VI VẬT THỂ Chuyên ngành: Kỹ thuật điện tử Mã số: 62 52 02 03 TÓM TẮT LUẬN ÁN TIẾN SĨ CÔNG NGHỆ KỸ THUẬT ĐIỆN TỬ, TRUYỀN THÔNG Hà Nội – 2015 Công trình được hoàn thành tại: Trường Đại học Công nghệ, Đại học Quốc gia Hà Nội Người hướng dẫn khoa học: 1. PGS. TS. CHỬ ĐỨC TRÌNH 2. . VŨ NGỌC HÙNG Phản biện: Phản biện: Phản biện: Luận án sẽ được bảo vệ trước Hội đồng cấp Đại học Quốc gia chấm luận án tiến sĩ họp tại vào hồi giờ ngày tháng năm Có thể tìm hiểu luận án tại: - Thư viện Quốc gia Việt Nam - Trung tâm Thông tin - Thư viện, Đại học Quốc gia Hà Nội Chương 1. TỔNG QUAN Vi gắp, hệ thống chấp hành và cảm biến Công nghệ vi cơ điện tử (MEMS) cho phép phát triển các công cụ thu nhỏ với kích thước cỡ mili mét để thao tác với các vi vật thể (kích thước nằm trong dải micro mét) nhằm đạt được nhiều lợi thế như kích thước nhỏ gọn, giá rẻ hay có tần số hoạt động cao. Nhiều hệ thống vi gắp và cảm biến đã được giới thiệu trong hơn hai thập kỷ vừa qua. Giới thiệu các loại vi gắp Phần này giới thiệu sự phát triển của các loại vi gắp phổ biến hiện nay cùng các đặc điểm cơ bản của chúng. Vi gắp điện từ với cấu trúc đơn giản có thể tạo ra chuyển vị lớn trong môi trường nhiệt độ hoạt .
