Bài viết trình bày kết quả nghiên cứu, chế tạo linh kiện trở nhớ dựa trên nền vật liệu oxide kim loại chuyển tiếp TiO2 trên đế thương phẩm ITO/PET. Với độ dày lớp màng mỏng TiO2 là 100 nm, kết quả khảo sát độ truyền qua cho thấy linh kiện có độ truyền qua trung bình lớn hơn 80 % trong vùng ánh sáng khả kiến, đạt 85 % ở bước sóng 550 nm. | Science & Technology Development, Vol 19, Chế tạo và khảo sát tính chất của linh kiện trở nhớ trên đế dẻo (PET) Phạm Kim Ngọc Lê Văn Hiếu Trần Cao Vinh Trường Đại học Khoa học Tự nhiên, ĐHQG-HCM Đào Thanh Toản Trường Đại học Giao thông Vận tải, Hà Nội (Bài nhận ngày 18 tháng 08 năm 2015, nhận đăng ngày 14 tháng 04 năm 2016) TÓM TẮT Trong công trình này, chúng tôi đã chế tạo thuận nghịch theo dạng lưỡng cực dưới sự phân thành công linh kiện trở nhớ dựa trên nền vật cực của điện trường trong khoảng từ -2 V đến +2 liệu oxide kim loại chuyển tiếp TiO2 trên đế V ở trạng thái ban đầu (phẳng) và sau khi bị tác thương phẩm ITO/PET. Với độ dày lớp màng động ngoại lực (uốn cong) đến 500 lần. Các kết mỏng TiO2 là 100 nm, kết quả khảo sát độ truyền quả từ nghiên cứu này đã mở ra một tiềm năng qua cho thấy linh kiện có độ truyền qua trung ứng dụng mới cho bộ nhớ đảo điện trở có tính bình lớn hơn 80 % trong vùng ánh sáng khả kiến, chất đàn hồi và trong suốt (TFRRAM) trên các loại đế chịu nhiệt kém. đạt 85 % ở bước sóng 550 nm. Đặc biệt, cấu trúc Ag/TiO2/ITO thể hiện tính chất đảo điện trở Từ khóa: bộ nhớ, đảo điện trở, đế PET, đàn hồi, màng mỏng TiO2, trong suốt MỞ ĐẦU Bộ nhớ thay đổi điện trở truy cập ngẫu nhiên (RRAM), dựa trên hiệu ứng thay đổi điện trở của vật liệu oxide, có những ưu điểm vượt trội so với các bộ nhớ khác vì có tốc độ truy cập nhanh, thế hoạt động thấp, mật độ tích hợp cao và cấu trúc đơn giản [1]. Trong những năm gần đây bộ nhớ RRAM được chế tạo trên các loại đế có tính trong suốt (Transparent) và đàn hồi (Flexible) đang là một lĩnh vực hấp dẫn, thu hút sự chú ý của cộng đồng các nhà khoa học cũng như doanh nghiệp sản xuất [2-5]. Một bộ nhớ RRAM trong suốt không nhạy với ánh sáng mặt trời (ổn định nhiệt tốt hơn) đã giúp mở rộng cho các ứng dụng điện tử hoạt động trong điều kiện môi trường khắc nghiệt [6]. Hơn nữa, các RRAM trên đế đàn hồi lại thể hiện các ưu điểm như giá thành rẻ, nhẹ, linh động cao, gần gũi với người sử dụng Trang .
