Màng mỏng oxide dẫn điện trong suốt như In2O3 pha tạp Sn (ITO), SnO2 pha tạp F (FTO) được sử dụng làm điện cực dẫn điện trong suốt trong các thiết bị quang điện tử (màn hình hiển thị, pin mặt trời ). Mời các bạn cùng tìm hiểu quá trình chế tạo màng mỏng oxide dẫn điện trong suốt qua nghiên cứu dưới đây. | Science & Technology Development, Vol 19, Chế tạo và khảo sát cấu trúc tinh thể và hình thái học của màng mỏng ZnO pha tạp (Ga và In) Nguyễn Trần Hồng Nhật Trường Đại học Bách Khoa, ĐHQG-HCM Trần Cao Vinh Phan Bách Thắng Trường Đại học Khoa học Tự nhiên, ĐHQG-HCM (Bài nhận ngày 28 tháng 08 năm 2015, nhận đăng ngày 06 tháng 05 năm 2016) TÓM TẮT Chúng tôi đã chế tạo thành công màng mỏng pha tạp Ga và In có tính tinh thể kém hơn so với ZnO thuần, ZnO pha tạp Ga, ZnO pha tạp đồng màng GZO và ZnO. Bằng cách pha tạp đơn chất thời Ga và In bằng phương pháp phún xạ (Ga) và lưỡng chất (Ga và In), chúng tôi đã điều magnetron dc. Các kết quả XRD, EDX và khiển được cấu trúc tinh thể của màng mỏng FESEM thể hiện rõ ảnh hưởng của nguyên tố pha ZnO. Dựa vào các kết quả trên, các nghiên cứu tạp Ga, In lên cấu trúc tinh thể và độ kết tinh của về tính chất nhiệt điện của các màng mỏng ZnO thuần và ZnO pha tạp đang được tiến hành. màng mỏng ZnO. Màng mỏng ZnO pha tạp Ga có tinh thể tốt nhất. Màng mỏng ZnO được đồng Từ khóa: màng mỏng ZnO, pha tạp, Ga, In, Cấu trúc tinh thể MỞ ĐẦU Màng mỏng oxide dẫn điện trong suốt như In2O3 pha tạp Sn (ITO), SnO2 pha tạp F (FTO) được sử dụng làm điện cực dẫn điện trong suốt trong các thiết bị quang điện tử (màn hình hiển thị, pin mặt trời ). Gần đây, có nhiều nghiên cứu và công bố khoa học về màng mỏng oxide ZnO pha tạp (B, Ga, In, Al ) nhằm ứng dụng làm điện cực trong suốt như ITO và FTO vì vật liệu ZnO có các thuận lợi với giá thành rẻ do trữ lượng quặng lớn, có điện trở suất thấp gần tương đương màng ITO khi pha tạp thích hợp, độ hấp thụ thấp hơn ITO trong vùng khả kiến. Bên cạnh các ứng dụng nêu trên, vật liệu ZnO cũng được nghiên cứu cho ứng dụng nhiệt điện [1-6]. Hiện nay, năng lượng nhiệt được quan tâm nghiên cứu cho chuyển hoá thành điện năng với các lý do sau: (1) nhiệt năng tồn tại khắp mọi Trang 84 nơi, từ nhiều nguồn như ánh sáng mặt trời, nhiệt dư từ máy móc, thân nhiệt con người , (2) quá trình chuyển hoá nhiệt
