Nội dung tài liệu giới thiệu phòng thí nghiệm Trọng điểm Quốc gia về Vật liệu và Linh kiện Điện tử được xây dựng tại Viện Khoa học Vật liệu - Viện Hàn lâm Khoa học và Công nghệ Việt Nam: khu công nghệ chế tạo và đo đạc các tính chất đặc trưng của vật liệu và linh kiện điện tử; khu công nghệ chế tạo vật liệu từ tiên tiến. | PHÒNG THÍ NGHIỆM TRỌNG ĐIỂM QUỐC GIA VẬT LIỆU LINH KIỆN VÀ ĐIỆN TỬ NATIONAL KEY LABORATORY FOR ELECTRONIC MATERIALS AND DEVICES 1 Phòng thí nghiệm Trọng điểm Quốc gia về Vật liệu và Linh kiện Điện tử được xây dựng tại Viện Khoa học Vật liệu - Viện Hàn lâm Khoa học và Công nghệ Việt Nam. PTNTĐ được chia thành hai khu công nghệ chính: 1. Khu công nghệ chế tạo và đo đạc các tính chất đặc trưng của vật liệu và linh kiện điện tử 2. Khu công nghệ chế tạo vật liệu từ tiên tiến Khu công nghệ chế tạo và đo đạc các tính chất đặc trưng của vật liệu và linh kiện điện tử được xây dựng tại nhà A2 - Viện Hàn lâm Khoa học và Công nghệ Việt Nam với tổng diện tích khoảng 800 m2, được bố trí thành các khu chức năng sau: - Khu công nghệ chế tạo vật liệu và linh kiện (Tầng 3, nhà A2): Có nhiệm vụ nghiên cứu công nghệ chế tạo các vật liệu (khối, màng, hạt nano) và linh kiện tiên tiến, có triển vọng trong kỹ thuật điện tử như: vật liệu thuỷ tinh pha đất hiếm, vật liệu quang tử, vật liệu laser rắn, công nghệ Si ở kích thước giới hạn, công nghệ vi cơ điện tử (MEMS/NEMS). PTNTĐ đã trang bị các thiết bị công nghệ chế tạo linh kiện, xây dựng phòng sạch cho phép thực hiện công nghệ quang khắc, hệ thống xử lý hoá, rung rửa siêu âm, thiết bị quay phủ, tạo nước khử iôn, Nhiều thiết bị đầu tay như đo độ pH, đo độ dẫn điện, hệ thống lò nung nhiệt độ cao, lò oxy hoá nhiệt, thiết bị chế tạo linh kiện trên quang sợi sử dụng laser, hàn chíp sử dụng laser, . đã được trang bị. - Khu phân tích cấu trúc và đo tính chất của vật liệu và linh kiện (Tầng 2, nhà A2): 2 Có chức năng phân tích cấu trúc, đo tính chất điện, từ, quang của vật liệu, linh kiện điện tử, quang điện tử. Có thể nói đây là điểm mạnh của PTNTĐ, Viện Khoa học Vật liệu. So với nhiều cơ sở nghiên cứu trong nước, hệ thống các thiết bị đo và phân tích cấu trúc của PTNTĐ là đồng bộ và hiện đại với nhiều thiết bị tiên tiến như: thiết bị hiển vi điện tử quét phân giải cao FESEM và phân tích thành phần EDX Hitachi S-4800 (phân giải
