Cảm biến khí amôniắc (NH3) trên cơ sở ống nanô cácbon đa thành (MWCNT) đã được nghiên cứu và chế tạo. MWCNT dạng màng được mọc trực tiếp trên điện cực Pt bằng phương pháp lắng đọng hóa học pha hơi (CVD) để chế tạo linh kiện cảm biến. Kết quả cho thấy màng CNT đáp ứng khí NH3 có chọn lọc tại nhiệt độ phòng. | Science & Technology Development, Vol 15, 2012 KHẢO SÁT TÍNH NHẠY KHÍ AMÔNIẮC (NH3) CHỌN LỌC TẠI NHIỆT ðỘ PHÒNG SỬ DỤNG CẢM BIẾN TRÊN CƠ SỞ ỐNG NANO CÁCBON ðA THÀNH Nguyễn Quang Lịch(1) , Nguyễn Công Tú(1), Lý Tuấn Anh(1), Trần Phúc Thành(1) Phan Quốc Phô(1), Nguyễn Hữu Lâm(1,2) (1)Viện Vật lý kỹ thuật (SEP), Trường ðại học Bách Khoa Hà Nội (2) Viện Tiên tiến về Khoa học và công nghệ (AIST), Trường ðại học Bách Khoa Hà Nội (Bài nhận ngày 16 tháng 10 năm 2012, hoàn chỉnh sửa chữa ngày 25 tháng 12 năm 2012) TÓM TẮT: Cảm biến khí amôniắc (NH3) trên cơ sở ống nanô cácbon ña thành (MWCNT) ñã ñược nghiên cứu và chế tạo. MWCNT dạng màng ñược mọc trực tiếp trên ñiện cực Pt bằng phương pháp lắng ñọng hóa học pha hơi (CVD) ñể chế tạo linh kiện cảm biến. Kết quả cho thấy màng CNT ñáp ứng khí NH3 có chọn lọc tại nhiệt ñộ phòng. Từ khóa: Ống nano cácbon (CNT); cảm biến; lắng ñọng hóa học pha hơi (CVD). GIỚI THIỆU dụ: SnO2, ZnO ). Những cảm biến loại này Trong những năm gần ñây, những nghiên thường có nhiệt ñộ làm việc cao trong vùng từ cứu trong lĩnh vực cảm biến phát hiện phân tử 300 oC ñến 400 oC. ðể tiết kiệm năng lượng và khí ñã thu hút ñược nhiều sự quan tâm của các giảm nhiệt ñộ làm việc của cảm biến, các nhà nhà nghiên cứu trong và ngoài nước. Mục tiêu nghiên cứu ñã tìm kiếm những vật liệu mới có cuối cùng của các nhà nghiên cứu cảm biến khí thể thay thế cho vật liệu ôxít kim loại có tính là tạo ra một thiết bị ñiện tử có thể phát hiện bán dẫn. Ống nano cácbon (CNT) là một trong từng loại khí có trong môi trường với giới hạn những vật liệu thay thế hấp dẫn nhất. CNT có nồng ñộ phát hiện thấp, ñộ nhạ y cao, có tính nhiều tính chất ưu việt như: có thể nhạ y khí ở chọn lọc và ñộ lặp lại cao. Hiện nay, môi nhiệt ñộ phòng, tỷ lệ diện tích bề mặt so với thể trường sống ngày càng ô nhiễm với sự xuất tích lớn Có nhiều loại cảm biến khí NH3 trên hiện của nhiều loại khí ñộc hại hoặc dễ gây cơ sở CNT ñược phát triển như: cảm biến kiểu cháy nổ như:
