Bài viết này trình bày hai phương pháp để xác định bề dày của những phôi vật liệu cực mỏng một cách đơn giản, nhanh, chính xác và không tốn kém. Cả hai phương pháp này dựa trên nền tảng của sự mất năng lượng của hạt alpha khi qua phôi vật liệu và sau đó được ghi nhận bằng hệ phổ kế alpha có độ phân giải năng lượng cao. | TAÏP CHÍ PHAÙT TRIEÅN KH&CN, TAÄP 13, SOÁ T1 - 2010 XÁC ĐỊNH BỀ DÀY PHÔI VẬT LIỆU BẰNG HỆ PHỔ KẾ ALPHA Lê Công Hảo, Mai Văn Nhơn, Châu Văn Tạo Trường Đại Học Khoa Học Tự Nhiên, ĐHQG-HCM (Bài nhận ngày 15 tháng 07 năm 2009, hoàn chỉnh sửa chữa ngày 17 tháng 03 năm 2010) TÓM TẮT: Ngày nay trong các ngành công nghiệp cũng như trong nghiên cứu khoa học đã xuất hiện nhu cầu cần xác định chính xác được độ dày của những phôi vật liệu có kích thước rất mỏng, xuống tới đơn vị µm. Do đó trong bài báo này chúng tôi sẽ đưa ra hai phương pháp để xác định bề dày của những phôi vật liệu cực mỏng một cách đơn giản, nhanh, chính xác và không tốn kém. Cả hai phương pháp này dựa trên nền tảng của sự mất năng lượng của hạt alpha khi qua phôi vật liệu và sau đó được ghi nhận bằng hệ phổ kế alpha có độ phân giải năng lượng cao. Từ khóa: Foil thickness, Alpha spectroscopy, Alpha spectrometer, Srim THIỆU Ngay sau khi khám phá về năng lượng hạt phát ra từ vật liệu phóng xạ, nhiều nhà khoa học đã đi tìm lời giải đáp cho câu hỏi thú vị và hóc búa đó là làm thế nào hạt mang điện bị chậm lại khi đi vào môi trường vật chất? Và đã có rất nhiều lý giải được trình bày xung quanh vấn đề trên nhưng tất cả điều bế tắt và không đầy đủ như mong đợi. Xung quanh việc tìm lời giải cho những vấn đề trên, Niels Bohr cùng với thuyết tán xạ ngược và và tán xạ điện tử của Rutherford đã công bố những phân tích về sự mất năng lượng của hạt mang điện khi đi vào môi trường vật chất đó là độ mất năng lượng khi xuyên qua vật chất của hạt mang điện có thể chia làm hai thành phần: + Độ mất năng lượng do tương tác với hạt nhân. + Độ mất năng lượng do tương tác với điện tử. Năm 1930, khi phát biểu lại những vấn đề từ tiên đề cơ lượng tử và dựa trên phương trình cơ bản gần đúng Born của hạt chuyển động nhanh trong môi trường lượng tử hóa, Bethe và Bloch đã đưa ra một thuyết quan trọng về năng suất hãm. Thuyết này dựa trên dựa trên phương pháp ước tính năng lượng mất đi của hạt và công thức biểu diễn mối quan hệ .
