Bài báo trình bày các kết quả về ma sát và mòn của màng cacbon giống kim cương phủ trên các đĩa thép bằng phương pháp phún xạ magnetron ở các thế điện khác nhau trên đế. Mô hình thử ma sát là mô hình “bi trượt trên đĩa”. | SCIENCE & TECHNOLOGY DEVELOPMENT, , - 2015 Ma sát và mòn của màng cacbon giống kim cương phủ bằng phương pháp phún xạ với các thế điện khác nhau trên đế Bùi Xuân Lâm Trường Đại học Công nghệ Tp. Hồ Chí Minh (Bản nhận ngày 10 tháng 3 năm 2015, hoàn chỉnh sửa chữa ngày 27 tháng 8 năm 2015) TÓM TẮT Bài báo trình bày các kết quả về ma sát và mòn của màng cacbon giống kim cương phủ trên các đĩa thép bằng phương pháp phún xạ magnetron ở các thế điện khác màng (0,09-0,15). Thế điện trên đế khi phủ màng đóng vai trò quan trọng trong việc hình thành cấu trúc tế vi của màng, từ đó, ảnh hưởng trực tiếp đến hệ số ma sát và nhau trên đế. Mô hình thử ma sát là mô hình “bi trượt trên đĩa”. Sự graphit hóa của màng (tạo nên một lớp graphit giữa các bề mặt ma sát) khi trượt ở chế độ không bôi trơn giải thích hệ số ma sát rất thấp của tính chất chống mòn của màng. Kết quả nghiên cứu cho thấy tiềm năng rất lớn của màng cacbon giống kim cương khi phủ lên các chi tiết máy bằng phương pháp phún xạ magnetron trong các ứng dụng kỹ thuật. Từ khóa: cacbon giống kim cương, ma sát, mòn, phún xạ magnetron 1. GIỚI THIỆU: Thuật ngữ cacbon giống kim cương (diamond-like carbon) lần đầu tiên được Sol Aisenberg sử dụng vào năm 1971 để mô tả màng cacbon cứng được phủ bằng các dòng ion cacbon năng lượng thấp [1]. Hiện tại, tên cacbon giống kim cương được sử dụng rộng rãi cho các màng cacbon cứng có các tính chất cơ học, quang học, điện học và hóa học gần giống với kim cương tự nhiên. Cacbon giống kim cương có cấu trúc vô định hình và có thể xem là một “hỗn hợp” của lai hóa sp2 (graphit) và sp3 (kim cương). Cacbon giống kim cương được chia ra TRANG 28 làm 2 nhóm chính: có chứa hydro (a-C:H) và không chứa hydro (a-C). Hàm lượng hydro trong a-C:H có thể lên đến 69% nguyên tử. Các a-C có hàm lượng hydro thấp hơn 1% nguyên tử [2]. So với a-C:H, a-C cứng hơn và có thể được phủ bằng các phương pháp vật lý như phún xạ magnetron, bốc hơi laser, phóng điện cathode trong chân không [3]. Độ
