Trong bài báo này là nghiên cứu kết quả trên màng mỏng Cu2O bằng phương pháp CVD từ Cu (Acac) 2. Nghiên cứu XRD và SEM cho thấy tinh thể Cu2O với cấu trúc khối, nhiệt độ ảnh hưởng đến trạng thái bề mặt của màng mỏng. | Tạp chí Hóa học, 55(1): 125-129, 2017 DOI: Nghiên cứu chế tạo màng mỏng Cu2O bằng phương pháp lắng đọng hóa học pha hơi Lê Văn Huỳnh Trường Đại học Kinh tế – Kỹ thuật Công nghiệp Đến Tòa soạn 10-5-2016; Chấp nhận đăng 6-02-2017 Abstract Cu2O thin films are widely used in many fields such as: solar panel, catalysts for chemical reactions, especially in the field of electronics. Cu2O thin films manufacture by vapor phase deposition methods chemical. This is the method by which solid material, is deposited from the vapor phase, through the the chemical reaction, near the surface to be heated. Obtained in the form of solids coatings, powder or the the crystal form. The advantage of CVD method is able to make the thin film with evenly thickness and less porous, even when complicated shapes. In this paper is the research results on Cu2O thin films by method CVD from Cu(Acac)2. XRD and SEM research showed that Cu2O crystals with cubic structure, temperature affects the surface states of thin films. Keywords. Cu2O thin film fabrication, chemical vapor deposition. 1. MỞ ĐẦU Lắng đọng hóa học pha hơi (CVD) là một phƣơng pháp, theo đó vật liệu rắn đƣợc lắng đọng từ pha hơi, thông qua các phản ứng hóa học xảy ra, ở gần bề mặt đế đƣợc nung nóng. Vật liệu rắn thu đƣợc là dạng lớp phủ, bột hoặc đơn tinh thể. Điểm đặc biệt của công nghệ CVD là có thể chế tạo đƣợc màng mỏng với độ dày đồng đều và ít bị xốp, ngay cả khi hình dạng đế phức tạp, có thể lắng đọng chọn lọc và giới hạn trong một khu vực nào đó trên đế có trang trí hoa văn. Phƣơng pháp CVD đƣợc sử dụng để chế tạo nhiều loại màng mỏng nhƣ: Chế tạo các màng mỏng ứng dụng trong công nghệ vi mạch điện tử, màng cách điện, dẫn điện, lớp chống gỉ, chống oxi hóa. Chế tạo sợi quang chịu nhiệt và có độ bền tốt. Sử dụng đƣợc với những vật liệu nóng chảy ở nhiệt độ cao, dùng để chế tạo pin mặt trời, các vật liệu siêu dẫn ở nhiệt độ cao. Màng mỏng Cu2O đƣợc ứng dụng trong nhiều lĩnh vực, nhất là trong .
