In this research, a detailed fabrication process of a single Au nanohole is demonstrated. An Au nanohole with various diameters is fabricated on an Si3N4 membrane through wellcontrolled steps of the fabrication process. The optic property of the Au nanohole is also investigated by means of COMSOL Multiphysics. | 74 Thien Q. Duong, Khuong T. T. Pham, Nam L. Nguyen RESEARCHING ON FABRICATION AND OPTICAL PROPERTIES OF A SINGLE AU NANOHOLE NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO VÀ KHẢO SÁT ĐẶC TÍNH QUANG CỦA LỖ NANO VÀNG Thien Q. Duong, Khuong T. T. Pham, Nam L. Nguyen University of Technology and Education - The University of Danang dqthien@, pttkhuong@, nlnam@ Abstract - In this research, a detailed fabrication process of a single Au nanohole is demonstrated. An Au nanohole with various diameters is fabricated on an Si3N4 membrane through wellcontrolled steps of the fabrication process. The optic property of the Au nanohole is also investigated by means of COMSOL Multiphysics. The research results show that light scattering spectra from the Au nanohole exhibits a localized surface plasmon (LSP) resonance in the interaction between the light and metal nano structures. Especially, there appears on the spectrum peak a red light varying according to diameters of the nanohole. The research results also indicate the appearance of a dual extreme electric field around the nanoholes which increases along with wave force. This knowledge forms an important base for opening up possibilities to apply metal nano structures to optics and optoelectronics as well as sensory biology. Tóm tắt - Trong nghiên cứu này, chi tiết về quy trình công nghệ chế tạo lỗ nano vàng được trình bày. Lỗ nano vàng với đường kính khác nhau được chế tạo trên màng Si3N4 thông qua việc kiểm soát các bước trong quy trình công nghệ. Đặc tính quang của lỗ nano được khảo sát bằng phần mềm COMSOL. Kết quả nghiên cứu cho thấy phổ tán xạ ánh sáng của lỗ nano có sự xuất hiện của các đỉnh phổ, là tính chất đặc thù của hiệu ứng plasmon định xứ bề mặt xuất hiện trong tương tác giữa ánh sáng với các cấu trúc nano kim loại. Đặc biệt, các đỉnh phổ này xuất hiện ở vùng ánh sáng đỏ và thay đổi theo đường kính của lỗ nano. Kết quả nghiên cứu cũng cho thấy sự xuất hiện của lưỡng cực điện trường xung quanh lỗ nano và .
