Luận văn này trình bày nghiên cứu, thiết kế và chế tạo một cấu trúc cảm biến vi cơ lỏng phát hiện tế bào trong kênh dẫn sử dụng tụ điện phẳng kiểu coplanar (tụ điện với các bản điện cực đồng phẳng với nhau) cấu trúc vòng cung. Cấu trúc cảm biến được đề xuất bao gồm một cấu trúc tụ điện phẳng hình vòng cung gồm 3 điện cực tạo thành cặp tụ vi sai với lớp điện môi bao gồm chất lỏng môi trường và tế bào đích. | ĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI TRƯỜNG ĐẠI HỌC CÔNG NGHỆ ----- ----- TRẦN HOÀI NAM NGHIÊN CỨU, THIẾT KẾ, CHẾ TẠO HỆ THỐNG CẢM BIẾN VI LỎNG PHÁT HIỆN VẬT THỂ TRONG KÊNH DẪN LUẬN VĂN THẠC SĨ CÔNG NGHỆ KỸ THUẬT ĐIỆN TỬ, TRUYỀN THÔNG HÀ NỘI – 2018 ĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI TRƯỜNG ĐẠI HỌC CÔNG NGHỆ ----- ----- TRẦN HOÀI NAM NGHIÊN CỨU, THIẾT KẾ, CHẾ TẠO HỆ THỐNG CẢM BIẾN VI LỎNG PHÁT HIỆN VẬT THỂ TRONG KÊNH DẪN Ngành: Công Nghệ Kỹ thuật Điện tử, Truyền thông Chuyên ngành: Kỹ thuật Điện tử Mã số: LUẬN VĂN THẠC SĨ CÔNG NGHỆ KỸ THUẬT ĐIỆN TỬ, TRUYỀN THÔNG Giáo viên hướng dẫn: TS. Bùi Thanh Tùng HÀ NỘI – 2018 i Lời cảm ơn Luận văn này là kết quả của quá trình nghiên cứu lý luận và thực tiễn của cá nhân tác giả dựa trên sự chỉ bảo, hướng dẫn của TS. Bùi Thanh Tùng. Thầy đã không quản khó khăn, thời gian, công sức để giúp tôi hoàn thành luận văn này. Tôi chân thành cám ơn các thành viên trong Bộ môn Vi cơ điện tử và vi hệ thống, Khoa Điện tử - Viễn Thông, Trường Đại học Công nghệ, Đại Học Quốc Gia Hà Nội đã giúp đỡ tôi trong những bước đầu nghiên cứu về hệ thống vi lỏng trong kênh dẫn. Cám ơn NCS. Đỗ Quang Lộc và Vũ Quốc Tuấn đã hỗ trợ trong quá trình làm thí nghiệm và đo đạc. Tôi cũng xin gửi lời cám ơn đến các thầy, cô giáo và bạn bè trong lớp K22 Kỹ thuật điện tử, Khoa Điện Tử – Viễn Thông, Trường Đại Học Công Nghệ, Đại Học Quốc Gia Hà Nội đã có những nhận xét, góp ý cho luận văn này của tôi. Cuối cùng tôi xin gửi lời cám ơn đến gia đình tôi, cơ quan tôi đang công tác, những người đã tạo điều kiện cho tôi học tập và nghiên cứu. Gia đình là động lực cho tôi vượt qua những thử thách, luôn luôn ủng hộ và động viên tôi hoàn thành luận văn này. ii Lời cam đoan Tôi xin cam đoan luận văn này là sản phẩm của quá trình nghiên cứu, tìm hiểu của cá nhân dưới sự hướng dẫn và chỉ bảo của các thầy hướng dẫn, thầy cô trong bộ môn, trong khoa và các bạn bè. Tôi không sao chép các tài liệu hay
