Đề tài này nhằm nghiên cứu, thiết kế, chế tạo và thử nghiệm một cảm biến góc nghiêng điện tử cấu trúc đơn giản, dễ chế tạo, hoạt động ổn định với độ tin cậy cao. Cấu trúc được đề xuất này hoạt động dựa trên nguyên lý điện dung vi sai nên cảm biến này có thể hoạt động trong các điều kiện khắc nghiệt, phù hợp với các ứng dụng ngoài thực địa. | ĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI TRƯỜNG ĐẠI HỌC CÔNG NGHỆ TRẦN MINH CƯỜNG THIẾT KẾ, CHẾ TẠO VÀ THỬ NGHIỆM CẢM BIẾN GÓC NGHIÊNG ĐIỆN TỬ CẤU TRÚC HAI PHA LỎNG – KHÍ LUẬN VĂN THẠC SĨ CÔNG NGHỆ KỸ THUẬT ĐIỆN TỬ, TRUYỀN THÔNG HÀ NỘI - 2016 ĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI TRƯỜNG ĐẠI HỌC CÔNG NGHỆ TRẦN MINH CƯỜNG THIẾT KẾ, CHẾ TẠO VÀ THỬ NGHIỆM CẢM BIẾN GÓC NGHIÊNG ĐIỆN TỬ CẤU TRÚC HAI PHA LỎNG – KHÍ Ngành : Công nghệ Kỹ thuật Điện tử, Truyền thông Chuyên ngành : Kỹ thuật Điện tử Mã ngành : 60520203 LUẬN VĂN THẠC SĨ CÔNG NGHỆ KỸ THUẬT ĐIỆN TỬ, TRUYỀN THÔNG NGƯỜI HƯỚNG DẪN KHOA HỌC: TS. Bùi Thanh Tùng HÀ NỘI - 2016 i Lời cảm ơn Để hoàn thành đề tài này, tôi xin chân thành cảm ơn các Thầy Cô giáo đã tận tình hướng dẫn, giảng dạy trong suốt quá trình học tập, nghiên cứu và rèn luyện cũng như trong quá trình thực hiện đề tài ở trường Đại học Công Nghệ - ĐHQGHN. Tôi xin cảm ơn các Thầy Cô giáo đã có những ý kiến đóng góp và động viên kịp thời giúp tôi hoàn thành luận văn này. Trong quá trình thực hiện luận văn không thể tránh khỏi những sai sót, tôi rất mong nhận được những ý kiến đóng góp của quý Thầy Cô và tất cả các bạn đọc để tôi có thể tiếp tục phát triển và hoàn thiện đề tài này. Hà Nội, tháng 6, 2016 Trần Minh Cường ii Lời cam đoan Tôi xin cam đoan đề tài “THIẾT KẾ, CHẾ TẠO VÀ THỬ NGHIỆM CẢM BIẾN GÓC NGHIÊNG ĐIỆN TỬ CẤU TRÚC HAI PHA LỎNG – KHÍ” do TS. Bùi Thanh Tùng hướng dẫn là công trình nghiên cứu của tôi, không sao chép các tài liệu hay công trình của người nào khác. Tất cả những tài liệu tham khảo phục vụ cho đồ án này đều được nêu nguồn gốc rõ ràng trong danh mục tài liệu tham khảo và không có việc sao chép tài liệu hoặc đề tài khác mà không ghi rõ về tài liệu tham khảo. Hà Nội, tháng 6, 2016 Trần Minh Cường iii Mục lục Lời cảm ơn .i Lời cam đoan .
