Ở nghiên cứu này, phương pháp dung dịch được lựa chọn để chế tạo màng mỏng. Đây là một phương pháp đơn giản, dễ dàng thao tác, chi phí thấp, phù hợp với điều kiện nghiên cứu ở Việt Nam. Các màng mỏng ZnO sau khi chế tạo sẽ được khảo sát cấu trúc tinh thể, hình thái học bề mặt, tính chất điện, độ truyền qua, bởi các thiết bị của Phòng thí nghiệm micro-nano, trường Đại học Công nghệ và trường Đại học Khoa học Tự nhiên. | ĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI TRƯỜNG ĐẠI HỌC CÔNG NGHỆ TRẦN VĂN DŨNG KHẢO SÁT VÀ CHẾ TẠO MÀNG MỎNG NANO ZNO BẰNG PHƯƠNG PHÁP SOL-GEL ĐỊNH HƯỚNG ỨNG DỤNG TRONG BỘ NHỚ SẮT ĐIỆN Chuyên ngành: Vật liệu và linh kiện nano Mã số: Đào tạo thí điểm TÓM TẮT LUẬN VĂN THẠC SĨ VẬT LIỆU VÀ LINH KIỆN NANO HÀ NỘI - 2016 LỜI NÓI ĐẦU Gần đây, màng mỏng Zinc oxít (ZnO) đã thu hút được rất nhiều sự quan tâm, nghiên cứu. Cụ thể theo tìm kiếm của Google Scholar, có hơn 675 nghìn công bố liên quan về màng mỏng ZnO. Sở dĩ chũng được quan tâm đáng kể như vậy do những tính chất quang và điện độc đáo cũng như vật liệu chế tạo không ảnh hưởng tới môi trường, chúng có tiềm năng ứng dụng đa dạng. ZnO là một loại vật liệu dẫn cho ánh sáng truyền qua, là một loại hợp chất oxit chất bán dẫn II-VI (II-VI compound semiconductor) với năng lượng vùng cấm trực tiếp rộng và năng lượng liên kết kích thích lớn (60 meV) ở nhiệt độ phòng. Có hai phương pháp chính để chế tạo màng mỏng ZnO là phương pháp vật lý và phương pháp hóa học. Ở nghiên cứu này, phương pháp dung dịch được lựa chọn để chế tạo màng mỏng. Đây là một phương pháp đơn giản, dễ dàng thao tác, chi phí thấp, phù hợp với điều kiện nghiên cứu ở Việt Nam. Các màng mỏng ZnO sau khi chế tạo sẽ được khảo sát cấu trúc tinh thể, hình thái học bề mặt, tính chất điện, độ truyền qua, bởi các thiết bị của Phòng thí nghiệm micro-nano, trường Đại học Công nghệ và trường Đại học Khoa học Tự nhiên như là nhiễu xạ tia X, kính hiển vi điện tử quét (SEM), kính hiển vi lực nguyên tử (AFM), hệ UV-VIS. Kết quả cho thấy chúng tôi đã khảo sát, làm chủ công nghệ và chế tạo thành công dung dịch tiền chất Zinc oxide dùng để chế tạo màng mỏng ZnO từ các chất hóa học thông dụng, sẵn có và giá thành rẻ như muối kẽm nitorat, axit citric. Chúng tôi đã chế tạo thành công màng mỏng ZnO bằng phương pháp dung dịch. Kết quả chỉ ra rằng các màng mỏng ZnO kết tinh tốt, độ truyền qua cao .Kết quả bước đầu rất khả quan để thử nghiệm làm kênh dẫn cho bộ nhớ sắt điện. Tuy nhiên vẫn còn
