Bài viết giới thiệu các kết quả nghiên cứu về cảm biến đo hơi ethanol trên cơ sở vi cân thạch anh (QCM) biến tính vật liệu ống nano các-bon (CNTs). Vi cấu trúc và tính chất của vật liệu đã được khảo sát bằng ảnh hiển vi điện tử quét, chiều dài và đường kính dây trung bình trong khoảng µm và 75 nm. | Tạp chí Khoa học và Công nghệ 132 (2019) 076-080 Đặc trưng nhạy khí ethanol của cảm biến vi cân tinh thể thạch anh phủ vật liệu ống nano các-bon. Ethanol Vapor Sensingproperty Ofquartz Crystal Microbalance Sensor Coated with Carbon Nanotubes. Nguyễn Đức Hoàng1, Nguyễn Thành Vinh1,2, Vũ Văn Cát1,3, Nguyễn Văn Toán1*, Đặng Thị Thanh Lê1, Nguyễn Văn Quy1* 1 Trường Đại học Bách khoa Hà Nội – Số 1, Đại Cồ Việt, Hai Bà Trưng, Hà Nội Trường Đại học Công nghệ Giao thông Vận tải, 54 Triều Khúc, Thanh Xuân, Hà Nội 3 Trường Trung học phổ thông Kinh Môn 2, Hiệp Sơn, Kinh Môn, Hải Dương Đến Tòa soạn: 20-11-2017; chấp nhận đăng: 18-01-2019 2 Tóm tắt Bài báo này giới thiệu các kết quả nghiên cứu về cảm biến đo hơi ethanol trên cơ sở vi cân thạch anh (QCM) biến tính vật liệu ống nano các-bon (CNTs). Vi cấu trúc và tính chất của vật liệu đã được khảo sát bằng ảnh hiển vi điện tử quét, chiều dài và đường kính dây trung bình trong khoảng µm và 75 nm. Tính chất nhạy khí của các cảm biến được nghiên cứu một cách có hệ thống trong dải nồng độ khí ethanol từ 5 –25 sccm tại nhiệt độ phòng theo thời gian. Các kết quả nghiên cứu cho thấy cảm biến có thời gian đáp ứng trong khoảng 200 – 300 s và có tiềm năng ứng dụng làm cảm biến phát hiện hơi ethanol. Keywords: QCM, CNTs, Cảm biến khí, Ethanol Asbstract In this study, ethanol gas sensor based on a quartz crystal microbalance (QCM) coated with carbon nanotubes (CNTs) was studied. From field-emission scanning electron microscope (FESEM), it was found that the average length and diameter of the CNTs were about µm and 75 nm, respectively. Further, carbon nanotube coated on a QCM for ethanol gas sensors were fabricated. The gas-sensitivity of sensor was studied systematically in concentrations of ethanol vapor range from 5 to 25 sccm at room temperature over time. The results show that the sensor has a response time in the range of 200 to 300 seconds and potential application in ethanol gas sensor. Keywords: QCM, CNTs, Gas sensor,
