Bài viết trình bày kết quả mô phỏng quá trình phun nhiệt phân hỗ trợ siêu âm bằng phương pháp phần tử hữu hạn. Các thông số công nghệ như áp suất dòng khí mang, khoảng cách từ đầu phun tới đế và tốc độ bơm dung dịch được thay đổi để xác định chế độ công nghệ tối ưu. | Tạp chí Khoa học và Công nghệ 129 (2018) 083-086 Mô phỏng quá trình phun nhiệt phân hỗ trợ siêu âm bằng phương pháp phần tử hữu hạn Simulation of Ultrasonic Spray Pyrolysis Deposition Method by Finite Element Method Phạm Phi Hùng1*, Lương Hữu Bắc1, Cao Xuân Quân2 Trường Đại học Bách khoa Hà Nội – Số 1, Đại Cồ Việt, Hai Bà Trưng, Hà Nội Viện đo lường Việt Nam, Nhà D - Số 8 đường Hoàng Quốc Việt, Phường Nghĩa Đô, Quận Cầu Giấy, Hà Nội 1 2 Đến Tòa soạn: 24-12-2015; chấp nhận đăng: 28-9-2018 Tóm tắt Bài báo trình bày kết quả mô phỏng quá trình phun nhiệt phân hỗ trợ siêu âm bằng phương pháp phần tử hữu hạn. Các thông số công nghệ như áp suất dòng khí mang, khoảng cách từ đầu phun tới đế và tốc độ bơm dung dịch được thay đổi để xác định chế độ công nghệ tối ưu. Kết quả nghiên cứu cho thấy, diện tích vùng đồng đều của màng đạt giá trị lớn nhất khi áp suất dòng khí mang từ 60 lb/in2 đến 80 lb/in2, khoảng cách từ đầu phun tới đế trong khoảng từ 13 đến 15 cm và tốc độ bơm dung dịch nhỏ hơn 1,5 ml/phút. Kết quả mô phỏng phù hợp với kết quả thực nghiệm. Từ khóa: phun nhiệt phân hỗ trợ siêu âm, mô phỏng, màng mỏng Abstract The current paper introduces simulations results of The ultrasonic spray pyrolysis technics by finite element method. In order to get the optimal uniformity of deposited film on the substrate The technology parameters such as carried gas pressure, solution pump speed and distance from substrate to spray nozzle were varied. The study results showed that the optimal calculated pressure of carrier gas flow are from 60 lb/in2 to 80 lb/in2, the distance from substrate to spray nozzle are from 13 cm to 15 cm and solution pump speed smaller than 1,5 ml/min. The results obtained from experiments are compared with the simulated results and found to be similar to each other. Keywords: ultrasonic spray pyrolysis method, simulation, thin film được gia nhiệt. Tại đế, dưới tác dụng của nhiệt các sol khí bị nhiệt phân và tạo thành màng mỏng. Độ đồng đều của màng mỏng
