Laser bán dẫn công suất cao phát xạ vùng hồng ngoại gần có rất nhiều ứng dụng trong đời sống cũng như trong nghiên cứu do tính chất gọn nhỏ, hiệu suất biến đổi quang điện cao, độ tin cậy cao. Các ứng dụng cần độ chính xác cao như đồng hồ nguyên tử, phổ hấp thụ nguyên tử. đòi hỏi các laser có độ rộng vạch phổ hẹp ở vùng công suất cao. | Tạp chí Khoa học và Công nghệ 129 (2018) 087-091 Khảo sát laser bán dẫn công suất cao phản hồi phân bố có độ rộng vạch phổ siêu hẹp Investigation of highpower Distributed Feedback diode lasers with ultra-narrow linewidth Nguyễn Thanh Phương Trường Đại học Bách khoa Hà Nội - Số 1, Đại Cồ Việt, Hai Bà Trưng, Hà Nội, Việt Nam Đến Tòa soạn: 06-3-2018; chấp nhận đăng: 28-9-2018 Tóm tắt Laser bán dẫn công suất cao phát xạ vùng hồng ngoại gần có rất nhiều ứng dụng trong đời sống cũng như trong nghiên cứu do tính chất gọn nhỏ, hiệu suất biến đổi quang điện cao, độ tin cậy cao. Các ứng dụng cần độ chính xác cao như đồng hồ nguyên tử, phổ hấp thụ nguyên tử. đòi hỏi các laser có độ rộng vạch phổ hẹp ở vùng công suất cao. Do đó việc xác định độ rộng vạch phổ của các nguồn laser là rất quan trọng. Bài báo này cung cấp kỹ thuật đo độ rộng phổ của các laser có độ rộng siêu hẹp. Trên cơ sở phương pháp đó, laser bán dẫn DFB phát xạ vùng 780 nm được khảo sát cho thấy độ rộng phổ ở công suất quang ra 250 mW tại 25oC là 19 KHz. Từ khóa: laser bán dẫn công suất cao, laser vạch phổ hẹp, self-delayed heterodyne Abstract High power diode lasers emitting at near infrared have many important applications because of their compactness, high energy-conversion efficiency and their reliability. Some high-accuracy applications such as: atomic clock, atomic absorption require lasers with narrow linewidth at high output power. Therefore, measuring linewidth of the lasers is very necessary. In this report, techniques to characterize ultra-narrow linewidth laser are shown. Base on these technique, semiconductor 780 nm DFB laser is investigated having linewidth of 19 KHz at 250 mW output power and 25oC. Keywords: high power diode laser, narrow linewidth laser, self-delayed heterodyne. 1. Mở đầu* heterodyne/homodyne [8] và kỹ thuật heterodyne [6]. Các máy phân tích phổ trên thị trường, độ phân giải thường bị giới hạn ở mức cỡ hàng chục GHz. Buồng cộng hưởng Fabry-Perot, độ phân giải nằm ở mức .