Phương pháp huỳnh quang tia X có thể sử dụng để xác định được hơn 83 nguyên tố trong bảng hệ thống tuần hoàn tồn tại dưới rất nhiều dạng trong tự nhiên ở thể rắn hoặc lỏng, bao gồm các loại mẫu: thủy tinh, nhựa, dầu, các kim loại, các mẫu quặng, các mẫu chịu lửa, xi măng và các mẫu địa chất khác, nói chung là các mẫu không có tương tác với tia X. | Về bản chất phân tích huỳnh quang tia X là phương pháp phân tích gián tiếp, dựa vào sự tỉ lệ của cường độ các vạch Rửntgen đặc trưng với nồng độ các nguyên tố nghiên cứu trong mẫu. Tuy nhiên, sự phụ thuộc cường độ vạch phổ với nồng độ trong phổ Rửntgen phức tạp hơn nhiều so với phổ phát xạ, nên trong phổ Rửntgen người ta dùng phương pháp đo so sánh. Trong phương pháp nội chuẩn, người ta so sánh cường độ vạch nguyên tố nghiên cứu với nguyên tố chọn làm chuẩn, chất chuẩn được đưa vào mẫu với nồng độ được biết chính xác. Vạch so sánh cần có thế kích thích gần với thế kích thích của vạch nghiên cứu, nghĩa là chúng có độ dài sóng gần nhau, nhưng không quá gần để có thể ảnh hưởng đến việc đo cường độ của mỗi vạch. Vì vậy, để có thể thu được kết quả một cách chính xác, việc chuẩn bị mẫu chuẩn và mẫu đo thực tế cần phải được tiến hành chính xác theo cùng một cách. Mỗi một phương pháp chuẩn bị mẫu đảm bảo phải tạo ra được các mẫu có cùng tính năng vật lý như hệ số hấp thụ vật chất, tỷ trọng, kích thước hạt trong một dải nồng độ nhất định. Thêm vào đó các phương pháp chuẩn bị mẫu phải nhanh, chi phí thấp và không tạo ra các sai số hệ thống như việc làm nhiễm bẩn mẫu trong quá trình tạo mẫu.
