Tài liệu Công nghệ điện tử - Micro và Nano nhằm giới thiệu một cách tương đối khái quát về Công nghệ Micro điện tử và Nano điện tử, trong đó công nghệ Nano điện tử là một lĩnh vực trọng yếu. Cuốn sách viết về một chuyên ngành rất rộng, bao gồm nhiều lĩnh vực khác nhau. Dưới đây là phần 1 của tài liệu, .