Trong quá trình khuếch tán tạp chất bo trong silic, sự tương tác giữa bo và sai hỏng điểm làm cho quá trình khuếch tán và hệ số khuếch tán của bo trong silic trở nên phức tạp. Bài viết giới thiệu các kết quả nghiên cứu về hệ số khuếch tán nội tại và hệ số khuếch tán tương quan của bo trong silic. | Hệ số khuếch tán nội tại và hệ số khuếch tán tương quan của tạp chất bo trong silic Nghiên cứu khoa học công nghệ HỆ SỐ KHUẾCH TÁN NỘI TẠI VÀ HỆ SỐ KHUẾCH TÁN TƯƠNG QUAN CỦA TẠP CHẤT BO TRONG SILIC Vũ Bá Dũng, Hồ Quỳnh Anh, Tống Bá Tuấn Tóm tắt: Trong quá trình khuếch tán tạp chất bo trong silic, sự tương tác giữa bo và sai hỏng điểm làm cho quá trình khuếch tán và hệ số khuếch tán của bo trong silic trở nên phức tạp. Vì vậy, việc xác định hệ số khuếch tán của bo trong silic không hề đơn giản. Tuy nhiên, ứng dụng lý thuyết nhiệt động lực không thuận nghịch, quá trình khuếch tán và hệ số khuếch tán của tạp chất bo trong silic có thể được lý giải, tính toán và khảo sát. Trong bài báo này, các tác giả đã giới thiệu các kết quả nghiên cứu về hệ số khuếch tán nội tại và hệ số khuếch tán tương quan của bo trong silic. Các kết quả đã cho thấy: i) Hệ số khuếch nội tại và hệ số khuếch tán tương quan của bo trong silic phụ thuộc vào nồng độ của bo và nồng độ sai hỏng điểm; ii) Khi nồng độ bo thấp, hệ số khuếch tán nội tại có dấu dương và bo khuếch thông thường trong Si; iii) Khi nồng độ bo cao, hệ số khuếch tán nội tại có dấu âm và bo khuếch lên dốc trong silic. Từ khóa: Khuếch tán bo trong silic, Hệ số khuếch tán nội tại, Hệ số khuếch tán tương quan. 1. MỞ ĐẦU Hệ số khuếch tán là thông số của quan trọng của quá trình khuếch tán. Trong các quá trình khuếch tán đơn giản, hệ số khuếch tán là một hằng số. Tuy nhiên, khuếch tán trong chất rắn nói chung và khuếch tán trong vật liệu bán dẫn là các quá trình phức tạp và hệ số huếch tán tạp chất trong mạng tinh thể chất bán dẫn phụ thuộc vào nhiều yếu tố khác nhau, như nồng độ tạp chất, nồng độ sai hỏng điểm trong Si. Khuếch tán tạp chất trong chất bán dẫn thường là các quá trình khuếch tán phức tạp đa thành phần, bao gồm tạp chất và sai hỏng điểm. Sự tương tác giữa các thành phần làm cho quá trình khuếch tán và hệ số khuếch tán của các thành phần trở nên phức tạp hơn nhiều
