Nội dung của bài viết này trình bày về thiết kế hệ đo đặc trưng của vi cảm biến vận tốc góc. Vi cảm biến vận tốc góc được sử dụng là kiểu Tuning Fork trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử MEMS (thiết kế chế tạo tại Viện ITIMS). Hệ đo gồm có các mô đun tốc độ góc, mô đun chuyển đổi C-V (MS3110) và mô đun thu thập dữ liệu USB-6009 kết nối với máy tính xử lý dữ liệu bởi phần mềm LabvieW. | Hệ đo đặc trưng điện của vi cảm biến vận tốc góc kiểu Tuning Fork Đo lường – Tin học HỆ ĐO ĐẶC TRƯNG ĐIỆN CỦA VI CẢM BIẾN VẬN TỐC GÓC KIỂU TUNING FORK Nguyễn Ngọc Minh, Nguyễn Quang Long, Chu Mạnh Hoàng, Vũ Ngọc Hùng* Tóm tắt: Nội dung của bài báo này trình bày về thiết kế hệ đo đặc trưng của vi cảm biến vận tốc góc. Vi cảm biến vận tốc góc được sử dụng là kiểu Tuning Fork trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử MEMS (thiết kế chế tạo tại Viện ITIMS). Hệ đo gồm có các mô đun tốc độ góc, mô đun chuyển đổi C-V (MS3110) và mô đun thu thập dữ liệu USB-6009 kết nối với máy tính xử lý dữ liệu bởi phần mềm LabvieW. Trong hệ đo có sử dụng truyền động quay bằng động cơ servo có điều khiển tốc độ và thời gian quay. Vận tốc góc cần đo sẽ có tỷ lệ với điện dung cảm ứng đầu ra của vi cảm biến vận tốc góc, điện dung được chuyển đổi tỷ lệ sang điện áp ta sẽ tính toán được vận tốc góc cần đo. Trong quá trình nghiên cứu, hệ đo đã được xây dựng thành công và đã có kết quả thực nghiệm. Quá trình thực nghiệm đo cho thấy quan hệ giữa vận tốc góc cần đo -200÷200 (deg/s) và điện áp đầu ra của bộ chuyển đổi là tuyến tính. Từ khóa: Vi cảm biến vận tốc góc; MS3110; Ni-USB6009; Servo motor. 1. ĐẶT VẤN ĐỀ Trong khoảng 30 năm trở lại đây sự ra đời và phát triển của công nghệ MEMS, một lĩnh vực công nghệ cao (Hi-tech) đã tạo ra một cuộc cách mạng về khoa học kỹ thuật và công nghệ chế tạo các linh kiện cảm biến (sensors) và chấp hành (actuators) ở phạm vi kích thước dưới milimet. Ưu điểm vượt trội của các cảm biến loại này là độ nhạy cao, kích thước nhỏ gọn, tiêu thụ năng lượng ít. Cảm biến vận tốc góc (hay con quay vi cơ) có ứng dụng rộng rãi trong nhiều lĩnh vực như công nghiệp chế tạo ô tô như chống trượt đổ xe [1]. Trong các thiết bị dân dụng như ổn định của máy ảnh số và điện thoại di động, chuột quán tính cho các thiết bị cầm tay [2]. Đặc biệt, sự phát triển của con quay vi cơ có độ nhạy và độ ổn định cao là yêu cầu thiết yếu cho các ứng
