Sai số con quay vi cơ do rung góc chân đế

Bài viết nghiên cứu mô hình toán học dao động của con quay vi cơ với dao động góc của phần tử cảm ứng trong điều kiện chân đế rung góc. Phương trình chuyển động được đưa ra dưới dạng hệ phương trình vi phân Mathew-Hill. áp dụng phương pháp trung bình Krylov-Bogolyubov nghiên cứu động lực học con quay theo biến chậm thấy rằng dao động góc chân đế xảy ra trong tần số cộng hưởng ảnh hưởng tới độ chính xác con quay hồi chuyển. | Sai số con quay vi cơ do rung góc chân đế Nghiªn cøu khoa häc c«ng nghÖ Sai sè con quay vi c¬ do rung gãc ch©n ®Õ Vò ThÕ Trung Gi¸p Tãm t¾t: Bµi viÕt nghiªn cøu m« h×nh to¸n häc dao ®éng cña con quay vi c¬ víi dao ®éng gãc cña phÇn tö c¶m øng trong ®iÒu kiÖn ch©n ®Õ rung gãc. Ph­¬ng tr×nh chuyÓn ®éng ®­îc ®­a ra d­íi d¹ng hÖ ph­¬ng tr×nh vi ph©n Mathew-Hill. ¸p dông ph­¬ng ph¸p trung b×nh Krylov-Bogolyubov nghiªn cøu ®éng lùc häc con quay theo biÕn chËm thÊy r»ng dao ®éng gãc ch©n ®Õ x¶y ra trong tÇn sè céng h­ëng ¶nh h­ëng tíi ®é chÝnh x¸c con quay håi chuyÓn. Tõ khãa: Đéng lùc häc, Con quay vi c¬, Rung chÊn. 1. ®Æt vÊn ®Ò Trong kho¶ng 30 n¨m trë l¹i ®©y, sù ra ®êi vµ ph¸t triÓn cña c«ng nghÖ vi c¬ ®iÖn tö (MEMS), mét lÜnh vùc c«ng nghÖ cao ®· t¹o ra mét cuéc c¸ch m¹ng vÒ khoa häc c«ng nghÖ trong viÖc chÕ t¹o c¸c linh kiÖn c¶m biÕn vµ chÊp hµnh ë ph¹m vi kÝch th­íc d­íi milimet. C¶m biÕn qu¸n tÝnh cã triÓn väng nhÊt lµ con quay håi chuyÓn vi c¬ (micro mechanical gyroscope - gäi t¾t lµ con quay vi c¬) ®· vµ ®ang ngµy cµng ®­îc sö dông réng r·i trong c¸c hÖ thèng dÉn h­íng vµ æn ®Þnh chÝnh x¸c nh­ c¸c vËt thÓ bay, c¸c ¨ng ten vÖ tinh, thiÕt bÞ quang ®iÖn tö, thiÕt bÞ g¾n trªn « t« vµ c¶ c¸c thiÕt bÞ gia dông. ChÝnh v× vËy vÊn ®Ò nghiªn cøu nh»m n©ng cao ®é chÝnh x¸c cña con quay vi c¬ ®ang lµ mét trong nh÷ng vÊn ®Ò cÊp thiÕt ®­îc nhiÒu nhµ khoa häc trong vµ ngoµi n­íc quan t©m. C¬ së cho viÖc thiÕt kÕ vµ t¨ng thªm tÝnh chÝnh x¸c cña con quay vi c¬ lµ nh÷ng m« h×nh to¸n häc m« t¶ chuyÓn ®éng cña phÇn tö c¶m øng cã tÝnh ®Õn tÝnh phi tuyÕn. Con quay vi c¬ vÒ b¶n chÊt lµ mét hÖ thèng c¬ ®iÖn tö, ®­îc chÕ t¹o trªn c¬ së nguyªn lý lµm viÖc dao ®éng rung. ë bµi viÕt nµy t¸c gi¶ nghiªn cøu con quay vi c¬ lo¹i RR theo mÉu ph¸t minh cña Boxenhorn B. [1,4] víi chuyÓn ®éng gãc cña phÇn tö c¶m øng trong hÖ c¸c ®èi t­îng chuyÓn ®éng ®­îc t¹o ra tõ mét líp silicon dµy 300 micromet, sö dông thuËt in ®¸ quang häc .