Investigation of coupled effects of temperature and relative humidity on dynamic performance of mems beam resonators in gas rarefaction

The modified molecular gas lubrication (MMGL) equation with the effective viscosity of moist air is utilized to solve for the squeeze film damping (SFD) problem on the dynamic performance of MEMS resonators. | Investigation of coupled effects of temperature and relative humidity on dynamic performance of mems beam resonators in gas rarefaction

Không thể tạo bản xem trước, hãy bấm tải xuống
TÀI LIỆU MỚI ĐĂNG
Đã phát hiện trình chặn quảng cáo AdBlock
Trang web này phụ thuộc vào doanh thu từ số lần hiển thị quảng cáo để tồn tại. Vui lòng tắt trình chặn quảng cáo của bạn hoặc tạm dừng tính năng chặn quảng cáo cho trang web này.