Bài viết nghiên cứu ảnh hưởng ủa tỉ lệ pha tạp lên cấu trúc, tính chất điện và tính chất quang của màng HIGZO. Để nắm chi tiết nội dung nghiên cứu bài viết. | Khảo sát ảnh hưởng của đồng pha tạp Indium, Gallium và Hydro lên cấu trúc, tính chất điện và tính chất quang của màng mỏng ZnO được chế tạo bằng phương pháp phún xạ Magnetron DC