Luận văn này trình bày thiết kế,chế tạo và thử nghiệm một hệ thống cấu trúc cảm biến vi hạt trong dòng chảy chất lỏng dựa trên cấu trúc cặp điện dung vi sai đồng phẳng phát hiện dẫn không tiếp xúc. Hệ thống cảm biến được đề xuất này bao gồm một cấu trúc tụ gồm bốn vi điện cực đồng phẳng tích hợp trong kênh vi lỏng và được cách ly để tránh các điện cực tiếp xúc trực tiếp với chất lỏng trong kênh dẫn bởi một lớp điện môi. | Luận văn Thạc sĩ Công nghệ kỹ thuật Điện tử Truyền thông Nghiên cứu thiết kế và chế tạo cảm biến vi hạt trong dòng chảy chất lỏng dựa trên cấu trúc cặp điện dung vi sai đồng phẳng phát hiện dẫn không tiếp xúc ĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI TRƯỜNG ĐẠI HỌC CÔNG NGHỆ NGUYỄN THỊ KIM NGÂN NGHIÊN CỨU THIẾT KẾ VÀ CHẾ TẠO CẢM BIẾN VI HẠT TRONG DÒNG CHẢY CHẤT LỎNG DỰA TRÊN CẤU TRÚC CẶP ĐIỆN DUNG VI SAI ĐỒNG PHẲNG PHÁT HIỆN DẪN KHÔNG TIẾP XÚC Ngành Công nghệ Kỹ thuật Điện tử Truyền thông Chuyên ngành Kỹ thuật Điện tử Mã ngành 60520203 LUẬN VĂN THẠC SĨ CÔNG NGHỆ KỸ THUẬT ĐIỆN TỬ TRUYỀN THÔNG Giáo viên hướng dẫn PGS. TS. Chử Đức Trình HÀ NỘI - 2017 i Lời cảm ơn Để hoàn thành đề tài này tôi xin chân thành cảm ơn các thầy cô giáo đã tận tình hướng dẫn giảng dạy trong suốt quá trình học tập nghiên cứu và rèn luyện cũng như trong quá trình thực hiện đề tài ở trường Đại học Công nghệ - ĐHQGHN. Tôi xin cảm ơn các thầy cô giáo đã có những ý kiến đóng góp và động viên kịp thời giúp tôi hoàn thành luận văn này. Trong quá trình thực hiện luận văn không thể tránh khỏi những sai sót tôi rất mong nhận được những ý kiến đóng góp của quý thầy cô và tất cả các bạn đọc để tôi có thể tiếp tục phát triển và hoàn thiện đề tài này. Luận văn này được thực hiện trong khuôn khổ của đề tài hợp tác song phương nghị định thư Phát triển hệ thống vi lỏng kết hợp aptamer và cảm biến trở kháng nhằm phát hiện tế bào ung thư mã số 16. Hà Nội tháng 11 2017 Nguyễn Thị Kim Ngân ii Lời cam đoan Tôi xin cam đoan đề tài Nghiên cứu thiết kế và chế tạo cảm biến vi hạt trong dòng chảy chất lỏng dựa trên cấu trúc cặp điện dung vi sai đồng phẳng phát hiện dẫn không tiếp xúc do . Chử Đức Trình hướng dẫn là công trình nghiên cứu của tôi không sao chép các tài liệu hay công trình của người nào khác. Tất cả những tài liệu tham khảo phục vụ cho đồ án này đều được nêu nguồn gốc rõ ràng trong danh mục tài liệu tham khảo và không có việc sao chép tài liệu hoặc đề tài khác mà không ghi rõ về tài liệu tham khảo. Hà Nội
