Luận văn này trình bày nguyên lý thiết kế, chếtạo, thửnghiệm và đánh giá hoạt động của một loại cảm biến nghiêng kiểu điện dung. Cấu trúc cảm biến này có độ tuyến tính và đầu ra analog tương ứng với góc nghiêng nên rất thuận tiện cho việc khảo sát và đánh giá. | Luận văn Thạc sĩ Công nghệ kỹ thuật Điện tử truyền thông Nghiên cứu thiết kế mô phỏng và thử nghiệm cảm biến góc nghiêng hai chiều cấu trúc hai pha lỏng khí ĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI TRƯỜNG ĐẠI HỌC CÔNG NGHỆ NGUYỄN NGỌC DŨNG NGHIÊN CỨU THIẾT KẾ MÔ PHỎNG VÀ THỬ NGHIỆM CẢM BIẾN GÓC NGHIÊNG HAI CHIỀU CẤU TRÚC HAI PHA LỎNG KHÍ LUẬN VĂN THẠC SĨ CÔNG NGHỆ KỸ THUẬT ĐIỆN TỬ TRUYỀN THÔNG Hà Nội - 2017 ĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI TRƯỜNG ĐẠI HỌC CÔNG NGHỆ NGUYỄN NGỌC DŨNG NGHIÊN CỨU THIẾT KẾ MÔ PHỎNG VÀ THỬ NGHIỆM CẢM BIẾN GÓC NGHIÊNG HAI CHIỀU CẤU TRÚC HAI PHA LỎNG KHÍ Chuyên ngành Kỹ thuật Điện tử Mã số 60 52 02 03 LUẬN VĂN THẠC SĨ CÔNG NGHỆ KỸ THUẬT ĐIỆN TỬ TRUYỀN THÔNG Người hướng dẫn khoa học TS. Bùi Thanh Tùng Hà Nội - 2017 LỜI CAM ĐOAN Tôi xin cam đoan đề tài NGHIÊN CỨU THIẾT KẾ MÔ PHỎNG VÀ THỬ NGHIỆM CẢM BIẾN GÓC NGHIÊNG HAI CHIỀU CẤU TRÚC HAI PHA LỎNG -KHÍ do TS. Bùi Thanh Tùng hướng dẫn là công trình nghiên cứu của tôi. Các nội dung nghiên cứu kết quả trong đề tài này là trung thực và không sao chép các công trình của người khác. Tất cả các tài liệu tham khảo được sử dụng trong luận văn này đều được ghi rõ nguồn gốc và tên tác giả. Nếu có sai sót tôi xin hoàn toàn chịu trách nhiệm. Hà Nội tháng 10 năm 2017 Nguyễn Ngọc Dũng i LỜI CẢM ƠN Tôi xin bày tỏ lòng biết ơn sâu sắc đến TS. Bùi Thanh Tùng và . Chử Đức Trình đã tận tình chỉ hướng dẫn chỉ bảo và có những góp ý giá trị để tôi hoàn thành luận văn này. Tôi cũng xin cảm ơn TS. Nguyễn Đắc Hải Đại học Công Nghiệp Hà Nội và NCS Vũ Quốc Tuấn Viện Vật lý ứng dụng Viện Hàn lâm khoa học công nghệ Việt Nam đã giúp đỡ tôi nhiệt tình trong quá trình đo đạc thực nghiệm các giá trị của cảm biến. Cuối cùng tôi cũng xin gửi lời cảm ơn tới các thầy cô giáo của khoa Điện Tử Viễn Thông Trường Đại Học Công Nghệ - Đại Học Quốc Gia Hà Nội đã truyền đạt cho tôi những kiến thức bổ ích và thiết thực trong suốt quá trình học tập tại trường. Trong quá trình thực hiện luận văn do kiến thức còn hạn chế không thể tránh khỏi những thiếu sót .