Luận văn trình bày phương pháp chế tạo và mô phỏng cảm biến tụ phẳng dựa trên cấu trúc C4D vi sai. Từ kết quả mô phỏng, cảm biến này cho khả năng phát hiện vật thể với kích thước rất nhỏ (cỡ micro) với kênh dẫn độ rộng 30um. Cảm biến cũng có thể nhận ra những vật thể có tính chất vật lý khác nhau, trong những môi trường chât lỏng khác nhau. | Luận văn Thạc sĩ Công nghệ kỹ thuật Điện tử Truyền thông Nghiên cứu thiết kế và chế tạo cảm biến tụ phẳng ĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI TRƯỜNG ĐẠI HỌC CÔNG NGHỆ NGUYỄN MINH NGỌC NGHIÊN CỨU THIẾT KẾ VÀ CHẾ TẠO CẢM BIẾN TỤ PHẲNG Ngành Công nghệ Kỹ thuật Điện tử Truyền thông Chuyên ngành Kỹ thuật Điện tử Mã số 60520203 LUẬN VĂN THẠC SĨ CÔNG NGHỆ KỸ THUẬT ĐIỆN TỬ TRUYỀN THÔNG NGƯỜI HƯỚNG DẪN KHOA HỌC PGS. TS. CHỬ ĐỨC TRÌNH Hà Nội - 2016 i LỜI CAM ĐOAN Tôi xin cam đoan Bản luận văn tốt nghiệp này là công trình nghiên cứu của cá nhân tôi được thực hiện dựa trên cơ sở nghiên cứu lý thuyết thực tế dưới sự hướng dẫn của PGS. TS. Chử Đức Trình. Các số liệu kết luận của luận văn là trung thực dựa trên sự nghiên cứu những mô hình kết quả đã đạt được của các nước trên thế giới và trải nghiệm của bản thân chưa từng được công bố dưới bất kỳ hình thức nào trước khi trình bày bảo vệ trước Hội đồng đánh giá luận văn thạc sỹ kỹ thuật . Hà Nội Ngày tháng năm 2016 Người cam đoan ii LỜI CẢM ƠN Đầu tiên cho phép em được gởi lời cảm ơn sâu sắc đến thầy PGS. TS. Chử Đức Trình. Thầy là người luôn theo sát em trong quá trình làm luận văn Thầy đã tận tình chỉ bảo đưa ra những vấn đề cốt lõi giúp em củng cố lại kiến thức và có định hướng đúng đắn để hoàn thành luận văn này. Tiếp đến em xin được gởi lời cảm ơn đến tất cả quý Thầy Cô đã và đang giảng dạy tại Khoa Khoa Điện tử - Viễn thông Trường Đại học Công nghệ đã giúp em có được những kiến thức cơ bản để thực hiện luận văn này. Kính chúc Thầy Cô dồi dào sức khoẻ thành đạt và ngày càng thành công hơn trong sự nghiệp trồng người của mình. Cuối cùng em cũng xin cảm ơn gia đình các anh chị bạn bè đã luôn quan tâm động viên và giúp đỡ em trong thời gian thực hiện luận văn tốt nghiệp. Xin chân thành cảm ơn iii MỤC LỤC LỜI CAM ĐOAN. i LỜI CẢM ƠN . ii MỤC LỤC .iii DANH MỤC CÁC HÌNH VẼ . v LỜI MỞ ĐẦU . 1 1. Lý do chọn đề tài . 1 2. Mục tiêu đề tài . 2 . Về lý thuyết . 2 . Về thực tiễn . 4 3. Phương pháp nghiên cứu . 4 4. Cấu trúc luận văn . 5 CHƢƠNG
