Trong bài báo này tác giả trình bày về kết quả nghiên cứu về những tác động của tốc độ bốc bay màng tới chất lượng màng khử phản xạ đa lớp sử dụng cặp vật liệu SiO2/SiO, trong vùng cận hồng ngoại, vùng hồng ngoại bước sóng ngắn. | Tác động của tốc độ bốc bay màng tới chất lượng màng khử phản xạ đa lớp sử dụng cặp vật liệu SiO2 SiO ThS Trần Anh Tuấn Viện Khoa học và Công nghệ Bộ Công an. anhtuanh56@ Tóm tắt Tốc độ bốc bay vận tốc lắng đọng của các phân tử trên bề mặt đế có ảnh hưởng trực tiếp tới chất lượng của màng mỏng. Nguyên lý tạo màng mỏng là quá trình đốt nóng gia nhiệt cho vật liệu màng làm cho vật liệu nóng chảy rồi bay hơi và lắng đọng hoặc không lắng đọng trên bề mặt đế trong môi trường chân không. Sự lắng đọng hay không lắng đọng nó phụ thuộc vào áp suất hơi trên bề mặt. Ở trạng thái cân bằng nghĩa là bay hơi lên bao nhiêu thì lắng đọng quay trở lại nguồn bấy nhiêu. Trong bài báo này tôi trình bày về kết quả nghiên cứu về những tác động của tốc độ bốc bay màng tới chất lượng màng khử phản xạ đa lớp sử dụng cặp vật liệu SiO 2 SiO trong vùng cận hồng ngoại vùng hồng ngoại bước sóng ngắn. Từ khóa Tốc độ bốc bay màng mỏng màng khử phản xạ SiO2 SiO chất lượng màng mỏng quang học. 1. Mở đầu Chất lượng của màng mỏng quang học bao gồm đặc tính quang học T λ R λ A λ cơ tính độ bám dính độ cứng đặc tính không gian độ đồng đều và đặc tính quang toàn bề mặt. Chất lượng của màng mỏng quang học thể hiện qua độ bền bám của màng mỏng quang học và hệ số truyền qua của màng mỏng quang học là bao nhiêu. Độ bền thể hiện tính bền vững của màng và được tạo nên do lực liên kết các phân tử màng với phân tử màng giữa phân tử màng với đế. Độ bám là khả năng bám chặt của màng với bề mặt chi tiết được mạ màng do lực liên kết các phân tử màng với các phân tử đế. Cả hai tính chất bền và bám phụ thuộc vào nhiều yếu tố khác nhau Tình trạng chi tiết được mạ màng và vật liệu chi tiết được mạ màng. Vật liệu chế tạo màng bề dày màng số lớp của màng chiều dày của màng sẽ quyết định tính chất của màng mỏng . Sự khác biệt giữa màng và đế về hệ số dãn nở nhiệt về ứng suất Điều kiện công nghệ chế tạo màng Điều kiện làm sạch áp suất buồng chân không vận tốc thăng hoa tốc độ bốc bay nhiệt độ đế trong khi tạo màng
