Bài viết này trình bày tổng quan về vi cơ điện tử MEMS, một lĩnh vực khoa học liên ngành dựa trên nền tảng của ngành vi điện tử và vi chế tạo. Các linh kiện MEMS hiện nay được sử dụng rộng rãi trong xã hội như cảm biến gia tốc, cảm biến góc, cảm biến áp suất, cảm biến sinh học, . | Thông tin khoa học công nghệ HỆ THỐNG VI CƠ ĐIỆN TỬ MEMS VÀ ỨNG DỤNG Nguyễn Ngọc An1 Trần Văn Ngọc2 Đặng Đình Tiệp2 Đỗ Quang Lộc2 Trần Thị Thúy Hà4 Nguyễn Đắc Hải5 Vũ Văn Thể6 Nguyễn Như Cường1 Phạm Ngọc Thảo1 Bùi Thanh Tùng1 Chử Đức Trình1 Tóm tắt Báo cáo này trình bày tổng quan về vi cơ điện tử MEMS một lĩnh vực khoa học liên ngành dựa trên nền tảng của ngành vi điện tử và vi chế tạo. Các linh kiện MEMS hiện nay được sử dụng rộng rãi trong xã hội như cám biến gia tốc cảm biến góc cảm biến áp xuất cảm biến sinh học . Báo cáo cũng trình bày tóm tắt một số định hướng nghiên cứu của nhóm nghiên cứu Vi cơ điện tử và vi hệ thống tại Khoa Điện tử- Viễn thông Trường Đại học Công nghệ Đại học Quốc gia Hà nội. Từ khóa MEMS Cảm biến Vi cơ điện tử. 1. HỆ THỐNG VI CƠ ĐIỆN TỬ There s plenty of room at the bottom tạm dịch là Còn những khoảng trống ở cấp vi mô là tiêu đề của một bài diễn thuyết của Giáo sư Richard P. Feynman vào năm 1959 một thiên tài Vật lý 1 . Câu hỏi Tại sao chúng ta không thể viết toàn bộ 24 chương của cuốn Bách khoa toàn thư Brittanica trên đầu một cây đinh ghim của giáo sư đã khai sáng ra một số lĩnh vực khoa học hoàn toàn mới - công nghệ nano nano technology công nghệ vi cơ điện tử Microelectromechanical Systems MEMS . a b Hình 1. Linh kiện MEMS với các chức năng được tích hợp trong một hệ thống. Hình 1-a thể hiện linh kiện MEMS là một linh kiện tích hợp có kích thước cỡ micromet và tích hợp chức năng điện và các chức năng không điện trong một hệ thống. Cho đến nay sau khoảng gần 40 năm phát triển các linh kiện MEMS đã đạt đến thành tựu tích hợp rất cao. Trong một linh kiện MEMS hiện nay có thể có các thành phần điện như mạch vi xử lý linh kiện thụ động bộ thu phát truyền tin hệ thống nguồn nuôi cảm biến và bộ chấp hành. Thuật ngữ hệ thống vi cơ điện tử ban đầu thể hiện hệ thống tích hợp các chức năng điện điện tử electro electronics và cơ mechanical . Theo thời gian linh kiện MEMS có thể tích hợp thêm nhiều các chức năng như quang nhiệt từ chất lỏng hóa
