Các cảm biến đo lực kích thước nhỏ chế tạo bằng công nghệ vi cơ đã được thiết kế và chế tạo lần đầu tiên tại Việt nam bởi nhóm MEMS tại Trung tâm ITIMS. Cấu trúc cảm biến này gồm một màng silic chiều dày cỡ 45 micron, ở tâm có thiết kế thêm một tâm cứng làm điểm đặt lực. Tín hiệu cơ được chuyển đổi qua một cầu điện trở hoặc điện trở 4 điện cực thành tín hiệu điện lối ra. Trong bài báo này chúng tôi trình bày sơ đồ nguyên lý, qui trình chế. | NGHIÊN cứu CHẾ TẠO VÀ KHẢO SÁT CÁC ĐẶC TRUNG CỦA CẢM biến VI Cơ ĐO Lực Vũ Ngọc Hùng Nguyễn Đức Chiến Trịnh Quang Thông Trung tâm Quốc tế Đào tạo về Khoa học Vật liệu ITIMS Đinh Văn Dũng Khoa Vật lý Truờng ĐhSp Hà nội 2 Tóm tắt Các cảm biến đo lực kích thước nhỏ chê tạo bằng công nghệ vi cơ đã được thiết kê và chê tạo lần đầu tiên tại Việt nam bởi nhóm MEMS tại Trung tâm ITIMS. Cấu trúc cảm biên này gồm một màng silic chiều dày cữ 45 micron ở tâm có thiết kê thêm một tâm cứng làm điểm đặt lực. Tín hiệu cơ được chuyển đổi qua một cầu điện trở hoặc điện trở 4 điện cực thành tín hiệu điện lôi ra. Trong bài báo này chúng tôi trình bày sơ đồ nguyên lý qui trình chê tạo và các khảo sát đặc trưng của cảm biên. Fabrication and characterization of michromachined force sensors Abstract Silicon micromachined force sensors have been designed and fabricated successfully for the first time in Vietnam by the MEMS group at ITIMS. The structure of the sensors consists of a membrane with a stiff center the membrane thickness is about 45 microns the stiff center serves as a forced point. The mechanical signal is converted into output voltage signal by a Wheastone resistor bridge or 4 terminal gage diffused on the membrane. In this paper the sensor configuration fabrication process and characteristics have been presented. 1. MỞ ĐẦU Các cấu trúc đo tín hiệu co tiêu biểu thuờng có dạng các màng hoặc các thanh dầm đuợc chế tác 3 chiều từ các vật liệu khối. Chỉ có thể chế tạo các cấu trúc này với độ chính xác cao nhờ công nghệ vi co micromachining technology . Do tính đặc thù cũng nhu khả năng đặc biệt của công nghệ vi co công nghệ này đã đuợc ứng dụng để chế tạo các cấu trúc và các bộ cảm biến ứng dụng trong nhiều lĩnh vực khác nhau nhu trong công nghiệp kỹ thuật y tế quân sự . Trong những năm gần đây với sự hỗ trợ đắc lực của công nghệ vi điện tử và công nghệ tin học công nghệ vi co đã phát triển mạnh mẽ và rộng khắp trên thế giới. Nhóm MEMS ở Trung tâm Quốc tế Đào tạo về Khoa học Vật .
