Phức chất tạo bởi kẽm và axetylaxeton có khả năng thăng hoa tốt có thể được sử dụng làm tiền chất để chế tạo màng mỏng ZnO. Màng mỏng được nghiên cứu bằng các phương pháp XRD, SEM, phổ huỳnh quang, phổ UV – vis, đo độ dày và hình thái học để tìm ra nhiệt độ tối ưu cho quá trình chế tạo màng mỏng. | ĐỀ XUẤT NHIỆT ĐỘ THÍCH HỢP CHO QUÁ TRÌNH CHẾ TẠO MÀNG ZNO TỪ TIỀN CHẤT KẼM AXETYL AXETONAT BẰNG PHƯƠNG PHÁP CVD Nguyễn Thị Thanh Nga Nguyễn Thị Thanh Tâm Khoa Toán và Khoa học Tự nhiên Email ngantt87@ Ngày nhận bài 13 3 2020 Ngày PB đánh giá 23 4 2020 Ngày duyệt đăng 29 4 2020 TÓM TẮT Năng lượng tái tạo là yêu cầu cấp bách trong cuộc sống hiện đại ngày nay. Màng mỏng ZnO là một trong số các chất bán dẫn hợp chất II VI có cấu trúc tinh thể vuazit lục giác độ bám đế tốt không độc giá thành thấp . có nhiều hứa hẹn cho ngành sản xuất pin năng lượng mặt trời. Phức chất tạo bởi kẽm và axetylaxeton có khả năng thăng hoa tốt có thể được sử dụng làm tiền chất để chế tạo màng mỏng ZnO. Màng mỏng được nghiên cứu bằng các phương pháp XRD SEM phổ huỳnh quang phổ UV vis đo độ dày và hình thái học để tìm ra nhiệt độ tối ưu cho quá trình chế tạo màng mỏng. Từ khóa màng mỏng thăng hoa axetylaxetonat kẽm CVD nhiệt độ. PROPOSING APPROPRIATE TEMPERATURE FOR PRODUCTION PROCESS OF THIN ZNO FILM FROM ZINC ACETYL ACETONATE PRECURSOR BY CVD METHOD ABSTRACT The demand of renewable energy is urgent demand in morden life today. Thin ZnO film is one of the compound semiconductors II - VI with hexagonal crystal structure good substrate non-toxic low cost . Which is potential to satisfy the increasing need of solar cell production. A complex of zinc and acetylacetate can be used as a precursor to fabricate thin ZnO films. The thin film was studied by XRD SEM fluorescence UV - vis spectrometry thickness measurement and morphology to find the optimal temperature for thin film fabrication. Keyword Thin film sublimation axetylaxetonate zinc oxide CVD temperature. I. MỞ ĐẦU tạo . để có thể phát triển bền vững. Năng Gần đây song song với sự phát triển lượng mặt trời là một trong những nguồn của các ngành công nghiệp thì môi trường năng lượng được khai thác nhiều gần đây. ngày càng bị ảnh hưởng tiêu cực. Việc Màng mỏng ZnO là một trong số các chất này dẫn tới đòi hỏi cấp bách tìm ra những .
