Bài viết nghiên cứu ảnh hưởng của bề dày màng NTO đến cấu trúc tinh thể và tính chất quang điện được chế tạo bằng phương pháp phún xạ magnetron DC từ bia gốm SnO2, trong môi trường tỷ lệ Ar /N (1:1) ở nhiệt độ lắng đọng 300oC. | Tạp chí Phát triển Khoa học và Công nghệ Kĩ thuật và Công nghệ 2 4 240-245 Open Access Full Text Article Bài Nghiên cứu Ảnh hưởng bề dày đến cấu trúc và tính chất quang điện của màng SnO2 pha tạp N Nguyễn Thanh Tùng1 Đặng Hữu Phúc2 Lê Trấn3 TÓM TẮT Màng SnO2 pha tạp N NTO với các bề dày khác nhau 320 420 520 620 và 720 nm được chế tạo được lắng đọng ở 300o C trong hỗn hợp khí phún xạ Ar N tỷ lệ 1 1 bằng phương pháp phún xạ Use your smartphone to scan this magnetron DC. Ảnh hưởng của bề dày đến cấu trúc tinh thể các hằng số quang học chiết suất QR code and download this article hay hệ số tắt và tính chất điện được khảo sát bằng các phép đo như nhiễu xạ tia X phổ UV -Vis và Hall. Kết quả thu được chất lượng tinh thể và hằng số quang học cải thiện khi bề dày tăng. Cụ thể màng NTO ở bề dày 620 nm có cấu trúc tinh thể tốt nhất và các giá trị như kích thước tinh thể chiết suất và độ linh động hạt tải lớn nhất cũng như hệ số tắt nhỏ nhất. Ngoài ra các màng NTO đều có cấu trúc cubic với mặt ưu tiên là 111 . Bên cạnh đó độ linh động lỗ trống tăng khi bề dày tăng và đạt giá trị lớn nhất 14 95 cm2 V 1 s 1 đối với màng NTO 620 nm. Tính chất điện loại p của màng NTO được kiểm định bằng phổ quang điện tử tia X XPS và đặc trưng I-V khi được chiếu sáng của cấu trúc dị thể p NTO n Si. Trong đó màng loại p NTO 620 được chế tạo trên đế loại n Si cho tỷ số dòng phân cực nghịch khi chiếu sáng và không chiếu sáng 58 lần ở - 6V kết quả này cho thấy màng loại p NTO hứa hẹn trong tương lai được sử dụng làm cảm biến quang học. Từ khoá phún xạ magnetron DC XRD đặc trưng I-V cấu trúc dị thể p-SnO2 N n-Si 1 Khoa khoa học Tự nhiên Trường ĐH Thủ Dầu Một số 06 Trần Văn Ơn Phú Hòa Thủ Dầu Một Bình Dương Việt Nam 2 GIỚI THIỆU mà bị bắt giữ bởi các vị trí tạp chất này vì vậy nồng Khoa Khoa học Cơ bản Trường ĐH độ lỗ trống luôn bị giới hạn. Ngoài ra SnO2 cũng có Công Nghiệp Tp HCM số 12 Nguyễn Hiện nay màng dẫn điện trong suốt TCOs do sở hữu Văn Bảo Phường 4 Quận Gò Vấp TP thể đạt được tính chất .
