A force measuring microsystem bases on electrothermal V-shaped actuator

This paper describes design and calculation of an electrothermal V-shaped actuator (EVA) and an amplification mechanism integrated into a force measuring microsystem (FMMS), aims to apply for characterization of a micro beam. Displacement and driving force are generated by thermal expansion of the V-shaped silicon beams while applying a voltage to the electrodes of the EVA. ANSYS simulation helps to find out the relations between thermal force and displacement corresponding to driving voltage and determine the temperature of V-shaped beam at various applying voltages. |

Không thể tạo bản xem trước, hãy bấm tải xuống
TÀI LIỆU MỚI ĐĂNG
127    18    1    25-09-2022
1    6    1    25-09-2022
Đã phát hiện trình chặn quảng cáo AdBlock
Trang web này phụ thuộc vào doanh thu từ số lần hiển thị quảng cáo để tồn tại. Vui lòng tắt trình chặn quảng cáo của bạn hoặc tạm dừng tính năng chặn quảng cáo cho trang web này.