Mục tiêu của đề tài là Chế tạo và đặc trưng được tính chất của màng phủ cứng nitrua đơn lớp – đa nguyên tố (TiAlXN (X: Si, B, V) và đa lớp – đa nguyên tố TiAlXN/CrN (X: Si, B) có độ cứng cao, hệ số ma sát thấp; tìm và khảo sát được ảnh hưởng của các thông số chính quyết định đến tính chất của các loại màng phủ. | BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO VIỆN HÀN LÂM KHOA HỌC VÀ CÔNG NGHỆ VIỆT NAM HỌC VIỆN KHOA HỌC VÀ CÔNG NGHỆ ----------------------------------- LƯƠNG VĂN ĐƯƠNG NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO VÀ ĐẶC TRƯNG TÍNH CHẤT CỦA MÀNG PHỦ NITRUA TRÊN NỀN HỢP KIM CỨNG WC-Co BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON Chuyên ngành Kim loại học Mã số TÓM TẮT LUẬN ÁN TIẾN SĨ KHOA HỌC VẬT LIỆU Hà Nội 2019 Công trình được hoàn thành tại Học viện Khoa học và Công nghệ - Viện Hàn lâm Khoa học và Công nghệ Việt Nam. Người hướng dẫn khoa học 1 PGS. TS. Đoàn Đình Phương Người hướng dẫn khoa học 2 GS. TS. Phan Ngọc Minh Phản biện 1 Phản biện 2 Phản biện 3 . Luận án sẽ được bảo vệ trước Hội đồng đánh giá luận án tiến sĩ cấp Học viện họp tại Học viện Khoa học và Công nghệ - Viện Hàn lâm Khoa học và Công nghệ Việt Nam vào hồi giờ . ngày tháng năm 201 . Có thể tìm hiểu luận án tại - Thư viện Học viện Khoa học và Công nghệ - Thư viện Quốc gia Việt Nam MỞ ĐẦU 1. Tính cấp thiết của luận án Trong công nghiệp sự mài mòn và ăn mòn là nguyên nhân gây mất mát năng lượng và tổn hao vật liệu làm giảm hiệu suất làm việc và tuổi thọ cho các dụng cụ cắt gọt và các chi tiết máy. Theo thống kê ở các nước phát triển khoảng 30 năng lượng vận hành bị tổn hao đi do vấn đề ma sát. Với những nước có nền công nghiệp phát triển cao thì sự mất mát do ma sát và mài mòn chiếm từ 1-2 tổng sản phẩm quốc gia. Do đó việc nghiên cứu chế tạo và phát triển các loại màng phủ có các đặc tính tốt như độ cứng cao hệ số ma sát thấp chịu ăn mòn và bền nhiệt đang là vấn đề cấp thiết trong công nghiệp hiện đại 1 . Trải qua vài thập kỷ nhiều loại màng phủ có các tính năng khác nhau đã được nghiên cứu chế tạo từ những loại màng đơn lớp đơn nguyên tố TiN 2-3 TiC 4-6 CrN 7-9 cho đến những loại màng đơn lớp đa nguyên tố TiAlN 10-11 TiAlSiN 12 TiAlBN 13 . Thêm vào đó việc nghiên cứu chế tạo màng đa lớp TiN CrN 14 TiAlN CrN 15 nhằm kết hợp các đặc tính tốt của mỗi màng đơn lớp cũng được nghiên cứu phát triển đồng thời. Để tạo ra các loại màng phủ này
