Đề tài nhằm khảo sát chi tiết ảnh hưởng của độ dày thân linh kiện tới đặc tính hoạt động tắt-mở của transistor hiệu ứng trường xuyên hầm cấu trúc lưỡng cổng. Cụ thể là đưa ra các giải thích vật lý đầy đủ của các ảnh hưởng tìm được, xác định được độ dày tối ưu để nâng cao đặc tính điện của linh kiện khi sử dụng các loại vật liệu bán dẫn có vùng cấm và hằng số điện môi khác nhau như Si, Ge, . | BỘ GIÁO DỤC VIỆN HÀN LÂM KHOA HỌC VÀ ĐÀO TẠO VÀ CÔNG NGHỆ VIỆT NAM HỌC VIỆN KHOA HỌC VÀ CÔNG NGHỆ ----------------------------- Nguyễn Văn Hào NGHIÊN CỨU ẢNH HƯỞNG CỦA ĐỘ DÀY THÂN LINH KIỆN TỚI ĐẶC TÍNH ĐIỆN CỦA TRANSISTOR HIỆU ỨNG TRƯỜNG XUYÊN HẦM CÓ CẤU TRÚC LƯỠNG CỔNG LUẬN VĂN THẠC SĨ VẬT LÝ Khánh Hòa 2020 BỘ GIÁO DỤC VIỆN HÀN LÂM KHOA HỌC VÀ ĐÀO TẠO VÀ CÔNG NGHỆ VIỆT NAM HỌC VIỆN KHOA HỌC VÀ CÔNG NGHỆ ----------------------------- Nguyễn Văn Hào NGHIÊN CỨU ẢNH HƯỞNG CỦA ĐỘ DÀY THÂN LINH KIỆN TỚI ĐẶC TÍNH ĐIỆN CỦA TRANSISTOR HIỆU ỨNG TRƯỜNG XUYÊN HẦM CÓ CẤU TRÚC LƯỠNG CỔNG Chuyên ngành Vật lý kỹ thuật Mã số 8520401 LUẬN VĂN THẠC SĨ VẬT LÝ CÁN BỘ HƯỚNG DẪN KHOA HỌC . Nguyễn Đăng Chiến Khánh Hòa 2020 Lời cam đoan Tôi cam đoan đây là công trình nghiên cứu của tôi dưới sự hướng dẫn của thầy PGS. TS. Nguyễn Đăng Chiến. Những kết quả nghiên cứu của người khác và các số liệu được trích dẫn trong luận văn đều được chú thích đầy đủ. Tôi hoàn toàn chịu trách nhiệm trước Học viện về sự cam đoan này. Khánh Hòa tháng 7 năm 2020 Tác giả Nguyễn Văn Hào Lời cảm ơn Trước hết em xin gửi tới các thầy cô của Viện hàn lâm khoa học và công nghệ Việt Nam Học viện khoa học và công nghệ Viện nghiên cứu và ứng dụng công nghệ Nha Trang lời cảm ơn chân thành nhất. Trải qua hai năm học tập tại Viện các thầy cô đã truyền đạt cho em nhiều kiến thức mới. Em xin bày tỏ lòng biết ơn chân thành và sâu sắc đến thầy . Nguyễn Đăng Chiến đã trực tiếp hướng dẫn luận văn của em. Thầy đã tận tình hướng dẫn giúp đỡ và động viên em trong suốt quá trình nghiên cứu. Sự hiểu biết sâu rộng về khoa học cũng như kinh nghiệm của thầy chính là tiền đề giúp em hoàn thành luận văn tốt nghiệp này một cách tốt nhất. Em xin gửi lời biết ơn sâu sắc đến gia đình bè bạn và đồng nghiệp đã giúp đỡ em rất nhiều trong suốt quá trình học tập và thực hiện luận văn. Cảm ơn các bạn học viên lớp cao học Vật lý kỹ thuật PHY18 Nha Trang đã cùng trao đổi học tập những kiến thức và kinh nghiệm quý báu trong suốt thời .