Bài viết tính toán sự phụ thuộc của độ linh động lỗ trống vào thành phần nhiệt độ trong cấu trúc kênh dẫn Ge pha tạp điều biến ở nhiệt độ cao. Trong vùng nhiệt độ này, chúng tôi đưa ra hàm tự tương quan cho sự phân bố của hạt tải và các cơ chế tán xạ của chúng. | TẠP CHÍ KHOA HỌC TRƢỜNG ĐẠI HỌC HỒNG ĐỨC - SỐ NGHIÊN CỨU ĐỘ LINH ĐỘNG CỦA HẠT TẢI TRONG KÊNH DẪN GE PHA TẠP ĐIỀU BIẾN PHỤ THUỘC VÀO NHIỆT ĐỘ Trần Thị Hải1 Nguyễn Thị Thảo2 Nguyễn Thị Dung3 Nguyễn Thị Tú4 TÓM TẮT Trong bài báo này chúng tôi tính toán sự phụ thuộc của độ linh động lỗ trống vào thành phần nhiệt độ trong cấu trúc kênh dẫn Ge pha tạp điều biến ở nhiệt độ cao. Trong vùng nhiệt độ này chúng tôi đưa ra hàm tự tương quan cho sự phân bố của hạt tải và các cơ chế tán xạ của chúng. Chúng tôi đã xem xét các cơ chế tán xạ cơ bản đặc biệt là tán xạ gây bởi phonon. Kết quả chỉ ra rằng tán xạ gây bởi độ nhám bề mặt và phonon âm đóng vai trò quan trọng trong việc giới hạn độ linh động của hạt tải. Chúng tôi xác định độ linh động phụ thuộc vào nhiệt độ lên tới 300oK. Lý thuyết của chúng tôi có thể mô tả khá tốt thực nghiệm về hiện tượng vận chuyển của lỗ trống trong kênh Ge pha tạp điều biến trong khoảng nhiệt độ từ 50K đến 300oK. Từ khóa Độ linh động tán xạ phonon âm pha tạp điều biến kênh dẫn Ge. 1. ĐẶT VẤN ĐỀ Các cấu trúc bán dẫn dị chất chứa Ge và SiGe ngày càng nhận đƣợc nhiều sự quan tâm nghiên cứu của các nhà khoa học trong nƣớc và quốc tế vì tầm quan trọng của chúng trong việc ứng dụng các máy móc thiết bị 1-5 . Các nghiên cứu về kênh dẫn Ge pha tạp điều biến ở nhiệt độ thấp cho thấy tán xạ do nhám bề mặt là cơ chế tán xạ cơ bản giới hạn độ linh động của hạt tải 4 6 . Ở nhiệt độ cao hơn 150K tán xạ phonon âm và phonon quang có đóng góp quan trọng và là một trong những cơ chế tán xạ cơ bản giới hạn độ linh động của hạt tải 2 7 . Trong những năm gần đây một vài nhóm tác giả 4 5 8 9 đã đƣa ra lý thuyết nghiên cứu về độ linh động của hạt tải giam cầm trong các cấu trúc giếng lƣợng tử pha tạp điều biến. Các tác giả này đã tính đến độ linh động phụ thuộc vào mật độ hạt tải và độ rộng kênh dẫn nhƣng chƣa tính đến độ linh động phụ thuộc vào nhiệt độ. Chính vì vậy nhóm chúng tôi lựa chọn bài toán nghiên cứu và tính toán độ linh động của hạt tải trong kênh dẫn
